Gebraucht NOVELLUS Vector Sola xT #9390438 zu verkaufen

NOVELLUS Vector Sola xT ist eine fortschrittliche Belichtungsanlage, die den hohen Anforderungen lithographischer Prozesse in der Halbleiterindustrie gerecht wird. Vector Sola xT ist in der Lage, hochgenaue, hochwertige Belichtung bei Temperaturen von 600 ° C oder höher mit einem Hochgeschwindigkeits-Muster-Overlay zu liefern, das die Herstellung komplexester Strukturen ermöglicht. Das System nutzt eine fortschrittliche, zweistufige optische Einheit mit hochgenauer Polygonabtastung und einer superauflösenden Musterüberlagerung, die eine präzise Strukturierung von Mikrometer-Funktionen bei hoher Geschwindigkeit ermöglicht. Ein fortschrittlicher optischer Nahfeldkopf mit proprietären Algorithmen ermöglicht eine genaue, hochauflösende Abbildung mit hohem Kontrast. Dies erhöht die Gleichmäßigkeit und Gleichmäßigkeit der Knoten über das gesamte Substratfeld. Die Hochgeschwindigkeits-Belichtungsmaschine hat einen Gesamtdurchsatz von bis zu 225 Wafern pro Stunde. Es ist mit hochgenauen Schlitzabtastalgorithmen und schnellen Feldnahttechniken ausgestattet, um eine nahtlose Abbildung mit geringer Verzerrung zu ermöglichen. Dieser hohe Durchsatz sorgt für kürzere Zyklen, was eine effizientere Produktion ermöglicht. Zusätzlich zu seinen Hochleistungsaussetzungsfähigkeiten wird NOVELLUS Sola xT Vektor mit fortgeschrittenen Vakuumberührenwerkzeugen ausgestattet, die schnelle Be-und Entladung des Substrats ermöglichen. Dadurch wird das Risiko von Belichtungsausfällen durch Substratschwingungen minimiert. Es hilft auch, den Durchsatz zu verbessern und die Belichtungszykluszeit zu reduzieren. Vector Sola xT verfügt auch über ein erweitertes Belichtungssteuerungstool, das eine präzise Kontrolle über Belichtungsparameter ermöglicht. Dies hilft, Prozessergebnisse zu optimieren, indem eine genaue und zuverlässige bildgebende Lösung bereitgestellt wird. Die Anlage verfügt außerdem über ein hochgenaues Ausrichtungsmodell, um eine präzise Ausrichtung der Belichtung zu gewährleisten und eine Über- und Unterbelastung des Substrats zu minimieren. Insgesamt ist NOVELLUS Vector Sola xT eine fortschrittliche Belichtungsanlage, die den hohen Anforderungen lithographischer Prozesse in der Halbleiterindustrie gerecht wird. Die hochgenaue Polygonabtastung, das zweistufige optische System und die superauflösende Musterüberlagerung ermöglichen die Herstellung komplexester Strukturen mit hoher Geschwindigkeit. Seine fortschrittlichen Vakuum- und Ausrichtungssysteme ermöglichen eine genaue und zuverlässige Bildgebung mit geringer Verzerrung, und seine Belichtungssteuereinheit hilft bei der Optimierung der Prozessergebnisse.