Gebraucht ORC DXP-3512 #9189059 zu verkaufen

ORC DXP-3512 ist ein Belichtungsgerät zur Herstellung von optischen Lithographiemasken. Es bietet Anwendern überlegene Auflösung, Genauigkeit und Durchsatz für maximale Leistung. Es verfügt über ein 12-Projektor-System, mit dem bis zu 12 Wafer gleichzeitig in das Werkzeug geladen werden können. Die Einheit verfügt über wählbare Lasertypen, einschließlich ArF von 248nm bis 193nm zusammen mit KrF von 248nm bis 157nm. Dies gewährleistet höchste Auflösung und Genauigkeit bei der Maskenreplikation. Es verfügt auch über ein hochauflösendes digitales Mikromirror-Gerät (DMD) mit 12,800X12,800 Auflösung. Dies erhöht die Tiefenschärfe und autofokussiert die Dosis, um Expositionsfehler zu reduzieren. DXP-3512 verfügt über eine Hochdurchsatz-Indexiermaschine, die Wafer mit einem 8-Zoll-Durchmesser innerhalb von 2,5 Sekunden indiziert. Die maximale Abtastgeschwindigkeit des Werkzeugs erreicht 90 "/s. Darüber hinaus unterstützt es die Verwendung von Quarzplatten, Ölrutschen und Indexplatten mit einer Auflösung von 10 gr/step, die es Benutzern ermöglicht, die Wafer im Asset genau zu positionieren. Das Modell verfügt auch über eine Java Visual Machine (JVM) Software, die eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche bietet. Dies ermöglicht es Benutzern, Programme einfach zu bearbeiten und einen umfassenden Satz von Ausgabeberichten zu erstellen. Darüber hinaus kann die Software leicht aktualisiert werden, wie Ausrüstungstechnologie und Controller entwickeln. ORC DXP-3512 verfügt auch über erweiterte Sicherheitsfunktionen. Es umfasst softwarebasierte Interlocks, die Wafer- und Belichtungsfehler beseitigen, sowie ein hardwarebasiertes Safety-Interlock-System, das Überlastungen des Bedieners und versehentliche Belichtung von Laserenergie verhindert. Insgesamt ist DXP-3512 eine fortschrittliche Belichtungseinheit, die für die Replikation von Hochleistungsmasken entwickelt wurde. Es bietet Anwendern hohe Auflösung, Durchsatz und Genauigkeit. Es verfügt auch über wählbare Lasertypen, hochauflösende DMD, Hochdurchsatz-Indexiermaschine, einfach zu bedienende Software und erweiterte Sicherheitsfunktionen. Diese Eigenschaften machen es zu einem zuverlässigen und effizienten Belichtungswerkzeug.