Gebraucht PANASONIC ANUP5252L #9374982 zu verkaufen

PANASONIC ANUP5252L ist ein automatisiertes Waferbelichtungsgerät, das konsistente, wiederholbare Ergebnisse liefert, wenn ein Wafer einer UV-Lichtquelle ausgesetzt wird. Dieses System wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Lithographieverfahren zu unterstützen, einschließlich tiefer ultravioletter (DUV) Projektionshalbleiterphotolithographie. ANUP5252L verwendet eine automatisierte, plattformbasierte Waferausrichteinheit, um eine präzise und wiederholbare Waferbelichtung zu gewährleisten. Diese Ausrichteinheit misst mit einem Interferometer die Waferhöhe mit einer Detektionsgenauigkeit von 1 Mikron und stellt sicher, dass der Wafer für optimale Ergebnisse mit der Belichtungseinheit ausgerichtet ist. Die Maschine ermöglicht voreingestellte Belichtungszeitparameter und unterstützt eine erhöhte Ausbeute, indem Überschneidungen oder fehlende Bereiche bei der Belichtung mehrerer Wafer verhindert werden. PANASONIC ANUP5252L verfügt über eine UV-Fokussierlinse von PANASONIC, die eine gleichmäßige Feldintensität während des Belichtungsprozesses gewährleistet. Diese fortschrittliche Linse wurde entwickelt, um eine gleichmäßige Intensität über die gesamte Waferoberfläche zu erzeugen, Fehler zu reduzieren und den Belichtungsprozess zu optimieren. Die Linse kann für eine Vielzahl von Belichtungen, einschließlich Kontakt, Nähe und weiche Kontakt Lithographie, sowie Scannen und gestufte Lithographie verwendet werden. Das Werkzeug ist mit einem Vakuumfutter ausgestattet, das Substrate während der Belichtung sicher hält. Das Spannfutter verwendet eine Niederdruck-Vakuum-Schnittstelle, die +/-15% Gleichmäßigkeit über die Oberfläche des Wafers beibehält, die Verzerrung reduziert und eine genaue und wiederholbare Belichtung gewährleistet. Die Software des Asset bietet auch Funktionen zur automatischen Wiederherstellung und Kreuzkalibrierung und bietet eine intelligente und stabile Plattform für eine Vielzahl von Lithographieanwendungen. ANUP5252L ist für hohe Leistung und Ertrag in industriellen Umgebungen konzipiert. Die robuste Konstruktion des Modells, kombiniert mit modernsten Überwachungs- und Steuerungsfunktionen, sorgen jedes Mal für eine optimale Belichtung. Darüber hinaus umfasst die Ausrüstung eine breite Palette von automatisierten Sicherheitsfunktionen, einschließlich Notstopp und Schutzhauben, die Lichtaustritt verhindern. Dadurch bietet PANASONIC ANUP5252L zuverlässige und wiederholbare Expositionen, die Schwankungen minimieren und sicherstellen, dass Wafer präzise Lithographie-Spezifikationen erfüllen.