Gebraucht SANYO / TOTTORI LPM 2006W-1 #9354054 zu verkaufen

SANYO / TOTTORI LPM 2006W-1 ist ein großes Vorsprungssteindruckverfahrenaussetzungssystem, das für die breite Seite oder Mediumsfeldanwendungen beabsichtigt ist. Entworfen mit hoher Auflösung und hohem Durchsatz im Auge, ist es eine geeignete Wahl für Fabs, die an mehreren lithographischen Prozessen arbeiten. SANYO LPM 2006W-1 verwendet einen fortschrittlichen Beleuchter und verfügt über eine Reihe von Funktionen, um einen effizienten Betrieb zu ermöglichen. Eine extrem niedrige Lichtpegellichtquelle dient zur genauen Fokuserfassung und ein Quad-Kanal-Steuerungsprozessor erzeugt eine hochzuverlässige und effiziente Belichtungsausrichtung. Der Beleuchter ist in der Lage, Strahlen hoher Intensität für schnellen Durchsatz sowie Strahlen niedriger Intensität zu emittieren, die die Zeit für eine genaue Fokusaufnahme reduzieren. Für eine verbesserte Präzision ist TOTTORI LPM 2006W-1 mit mehreren Optiken ausgestattet, die eine breite Palette von numerischen Aperturen (NA) und Wellenlängen unterstützen. Dazu gehören eine einstellbare Fünf-Elemente-Brechungs-, Mehrwellenlängen-, Laser-Scan und hochauflösende Abbildungsoptik. Weiterhin sind ein 100-Millisekunden-Elektronenstrahlimpuls und ein neues digitales Netzteil (PSU) vorhanden, wodurch die Intensität basierend auf den Konturen der Maske gesteuert werden kann. Die Steuerung der Waferplatzierung wird durch eine hochgenaue Stufe erreicht, die eine volle sechsachsige Positionierung, Direktantrieb und reduzierte Bewegungsresonanz aufweist. Die Sechs-Achsen-Stufe enthält auch Wärmebildkameras zur Detektion von Maskenmustern und ist an ein Wafer-Handling-System angeschlossen, das eine präzise Waferausrichtung und automatische Weitergabe von Wafern ermöglicht. In Sachen Wartung erfordert LPM 2006W-1 sehr wenig Wartungsaufwand. Dies wird durch die Aufnahme von Kegelrollenlager sowie Online-Diagnose, die Probleme identifizieren können, bevor sie ernst werden verbessert. Zusätzlich ist eine automatische Reinigungsfunktion vorhanden, die es ermöglicht, Partikel schnell aus der empfindlichen Optik zu entfernen. Insgesamt ist SANYO/TOTTORI LPM 2006W-1 eine ausgezeichnete Wahl für Fabs, die einen effizienten und präzisen Schritt in Richtung Lithographie-Produktion suchen. Mit seiner hohen Auflösung, seinem hohen Durchsatz und seinem benutzerfreundlichen Design ist es mehr als in der Lage, eine Vielzahl von Anwendungsanforderungen zu bearbeiten.