Gebraucht SEIWA PA-920V-INL-7 #9293010 zu verkaufen

SEIWA PA-920V-INL-7 ist eine Belichtungsanlage zur Photomaskenproduktion im Halbleiterherstellungsprozess. Es ist eine Stepper-Scanner-Plattform mit einer 6 „quadratischen Photomaskenstufe und einem Dual 11“ Exactrail-Tisch, die große Photomaskengröße und hohen Durchsatz ermöglicht. Das System bietet eine Auflösung von bis zu 0,25 μ m und nutzt eine hochintensive, Split-Field, Quad Storage-Tube, Deep-UV-Projektionsoptik für die Belichtung. Die Maschine integriert ein hochpräzises Bewegungssteuerungswerkzeug, um eine höhere Positioniergenauigkeit und optimierte ruckfreie Bewegung zu erreichen. Mit einem Scan von bis zu 2,3 Sekunden über seine 8-Zoll-Bildfelder ist das Asset so konzipiert, dass es die Komplexität der großen Photomasken-Produktion reduziert. Seine erweiterten Belichtungsalgorithmus-Optionen ermöglichen es ihm, selbst die kompliziertesten Formen zu handhaben. Das Modell kann für eine Vielzahl von Anwendungen eingerichtet werden, wie kurze Belichtungszeit, Laser-Direktschreiben und Mixed-Mode-Belichtung. Sein modularer Aufbau ermöglicht eine schnelle Umstellung zwischen verschiedenen Belichtungsanwendungen und die Möglichkeit, leicht auf neue Prozessanforderungen zu aktualisieren. Darüber hinaus verfügt die Ausrüstung über eine lange Lebensdauer auch durch kontinuierliche Nutzung. PA-920V-INL-7 verfügt über erweiterte Funktionen wie Autofokus, anwendungsspezifische Ausrichtung und automatische Belichtungsoptimierung. Auto-Focus kombiniert optische Fokusformerkennung und Fokusmessung für überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Das Ausrichtmodul hingegen richtet Photomasken automatisch nach ihren inhärenten konstruktiven Merkmalen aus. Das automatische Belichtungsmodul ermöglicht es dem System, die Belichtungsparameter für jede zu erzeugende Schicht der Photomaske zu optimieren. Das Gerät bietet umfassende Prüf- und Analysefunktionen nach der Exposition. Es bietet eine 3D-Wafer-Rekonstruktion und eine Hot-Spot-Erkennungsmaschine, um Exzellenz zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet es umfangreiche Datenerfassungsfunktionen, mit denen Betreiber kritische Parameter während des Produktionslaufs verfolgen können. Das Werkzeug kann an mehrere Peripheriegeräte wie zusätzliche Inspektionskameras und Messtechnik-Zubehör angeschlossen werden, um die Qualitätskontrolle weiter zu gewährleisten. SEIWA PA-920V-INL-7 ist eine äußerst zuverlässige und kostengünstige Belichtungsanlage für die Photomaskenproduktion. Mit seinen erweiterten Funktionen und Funktionen beseitigt dieses Modell den Aufwand und die Zeit, die mit der Photomaskenproduktion verbunden sind. Es ermöglicht einen hohen Durchsatz, überlegene Genauigkeit und wiederholbare Leistung, so dass es eine ideale Lösung für moderne Halbleiterherstellung.