Gebraucht USHIO UFX-2259B-AMB01 #9372133 zu verkaufen
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ID: 9372133
Weinlese: 2009
Exposure system, parts machine
Shutter unit:
Exposure area, P/N; 2317-3246
Mask light source
Optical parts:
Light collecting mirror, P/N: 2306-3208
Plane mirror, P/N: 2836-7583
Projection lens, P/N: UPL-59EX
Microscope, P/N: 1000051733 / 3185-0361
CCD Has been removed
Workpiece stage:
Beam splitters, P/N: 1000049959 (43.5)
Beam splitter, P/N: 1000029070 (11.5)
Motor unit (X, Y, Θ), P/N: 3026-0870
Work stage units:
Drive shaft pressure wheel unit
Drive shaft unit
Brake shaft unit
Clamp unit
Vacuum suction plate
Anti-uplifting press wheel group
Illumination / Microscope: Light cover light source gate missing
Micrometer (Precision sliding table), P/N: MHS2-13
OMROM Rotary encoder, P/N: E6B2-CWZ6C (2000P/R)
Reel receiving and discharging mechanism:
AC Motor, P/N: VHR206AGVJ / GV2G250
AC Motor, P/N: 2TK3GN-AGN25K
Clutch, P/N: AMC-40
(6) Drive / Brake units:
MATSUSHITA AC Servo motor (Drive unit), P/N: MSM5AZP1A
MATSUSHITA Motor driver (Drive unit ), P/N: MSD5A1P1EA
Clutch, P/N: AMC-5
Piping units:
SMC Solenoid valve workpiece blow, P/N: VCW31-5G-2-02-V-B-X41
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VP542R-5GZ-03A-F
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW41-5G-4-02-V-B-X27
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW3134V-02-5GS-B
PCB:
USHIO Auto micrometer, P/N: PB-1026B
USHIO Rotary encoder I / F, P/N: HC ENC I/F
NDG Switcher, P/N: PB-1028B-U00
Video IN, P/N: RICE-001
Video OUT, P/N: PLUM-001
MELEC Motor control, P/N: C-864V1
Screen / Peripheral:
KEYENCE VT-7S Touch panel display is non-functional
Mouse for visual teaching
PLC:
MITSUBISHI CPU Unit, P/N: Q06HCPU
MITSUBISHI Serial data unit, P/N: QJ71C24-R2
MITSUBISHI 64-Point IN unit, P/N: QX40
MITSUBISHI 65-Point OUT unit, P/N: QY50
MITSUBISHI 2-Axis positioning unit, P/N: QD75D2
MITSUBISHI High speed counter, P/N: QD62D
MITSUBISHI Memory card, P/N: Q2MEM-8MBA
MITSUBISHI QJC1724N
MITSUBISHI QJ61BT11N
Internal wiring; Sensor line / Communication line
PC Host: AUPC
Air mount: (3) Balance air cushions
Static elimination: Ion gun
2009 vintage.
USHIO UFX-2259B-AMB01 ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät für optische Lithographieanwendungen. Das System bietet einen hochpräzisen und stabilen Belichtungsprozess, der entscheidend für die Genauigkeit der gedruckten Merkmale ist. Es ist in der Lage, die Form, Größe, Tiefe und andere Mikrostrukturmerkmale der Druckelemente genau zu steuern. Das Gerät verfügt über eine Vielzahl von Objektiven und Öffnungen, um sich an verschiedene Prozesse und Materialien anzupassen. Es ist mit einer hochpräzisen Stufe ausgestattet, um den Wafer zu bewegen, um eine genaue Platzierung der gedruckten Merkmale zu gewährleisten. Der belichtete Wafer wird dann zur Weiterverarbeitung von der Maschine auf die Bearbeitungsplattform übertragen. UFX-2259B-AMB01 ermöglicht eine präzise Steuerung des Belichtungsprozesses durch ein begleitendes Softwarepaket. Diese Software ist in der Lage, Belichtungszeit und -leistung zu verwalten sowie die verschiedenen Parameter wie Fokus und Wellenlänge zu steuern. Darüber hinaus können Anwender Temperatur, Feuchtigkeit und Luftströmung während des Belichtungsprozesses überwachen. USHIO UFX-2259B-AMB01 verfügt auch über einen fortschrittlichen digitalen Computersignalprozessor (C-DSP), um eine konsistente Genauigkeit der Belichtungsparameter und eine konstante Temperatur innerhalb der Belichtungskammer bereitzustellen. Der fortschrittliche Prozessor bietet auch Diagnosefunktionen und ermöglicht die Fernüberwachung der Werkzeugleistung. Die Anlage ist in der Lage, Expositionsparameter genau zu kalibrieren, um die Prozessgenauigkeit zu gewährleisten. Es kann auch Wafer-Feature-Shapes auswerten, um mögliche Probleme mit dem Druckprozess schnell zu identifizieren. UFX-2259B-AMB01 stellt Benutzern detaillierte Belichtungsprotokolldaten zur Verfügung, die für die Berichterstattung und Analyse verwendet werden können. Das Modell ist mit vielen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um verschiedene Parameter zu überwachen und einen fehlerhaften Prozessbetrieb zu verhindern. Dazu gehören ein Halogenlampenschutz und eine antistatische Erdung für die peripheren Spannfutter des Wafers. Die Belichtungseinrichtung verfügt zudem über ein Stoßdämpfersystem, um eine optimale Belichtungsleistung in Extremszenarien zu erhalten. Insgesamt ist USHIO UFX-2259B-AMB01 eine fortschrittliche Belichtungseinheit für optische Lithographieanwendungen. Es ist in der Lage, die Form, Größe, Tiefe und andere Mikrostrukturmerkmale der gedruckten Elemente genau zu steuern, sowie den Benutzern detaillierte Belichtungsprotokolldaten für die Berichterstattung und Analyse zur Verfügung zu stellen. Die Maschine bietet zudem zahlreiche Sicherheits- und Leistungsmerkmale, um eine optimale Leistung zu gewährleisten.
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