Gebraucht USHIO UFX-2259B-AMB01 #9375525 zu verkaufen

ID: 9375525
Weinlese: 2009
Exposure system Shutter unit: Exposure area, P/N; 2317-3246 Mask light source Optical parts: Light collecting mirror, P/N: 2306-3208 Plane mirror, P/N: 2836-7583 Projection lens, P/N: UPL-59EX Microscope, P/N: 1000051733 / 3185-0361 Workpiece stage: Beam splitters, P/N: 1000049959 (43.5) Beam splitter, P/N: 1000029070 (11.5) Motor unit (X, Y, Θ), P/N: 3026-0870 Work stage units: Drive shaft pressure wheel unit Drive shaft unit Brake shaft unit Clamp unit Vacuum suction plate Anti-uplifting press wheel group Illumination / Microscope: Light cover light source gate Micrometer (Precision sliding table), P/N: MHS2-13 OMROM Rotary encoder, P/N: E6B2-CWZ6C (2000P/R) Reel receiving and discharging mechanism: AC Motor, P/N: VHR206AGVJ / GV2G250 AC Motor, P/N: 2TK3GN-AGN25K Clutch, P/N: AMC-40 (6) Drive / Brake units: MATSUSHITA AC Servo motor (Drive unit), P/N: MSM5AZP1A MATSUSHITA Motor driver (Drive unit), P/N: MSD5A1P1EA Clutch, P/N: AMC-5 Piping units: SMC Solenoid valve workpiece blow, P/N: VCW31-5G-2-02-V-B-X41 SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VP542R-5GZ-03A-F SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW41-5G-4-02-V-B-X27 SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW3134V-02-5GS-B PCB: USHIO Auto micrometer, P/N: PB-1026B USHIO Motor interface, P/N: PB-1017B USHIO Motor interface, P/N: PB-1018B USHIO Rotary encoder I / F, P/N: HC ENC I/F USHIO Shutter control, P/N: PB-1040B NDG Switcher, P/N: PB-1028B-U00 Video IN, P/N: RICE-001 Video OUT, P/N: PLUM-001 MELEC Motor control, P/N: C-864V1 Screen / Peripheral: KEYENCE VT-7S Touch panel display AU Positioning visual screen Mouse for visual teaching PLC: MITSUBISHI CPU Unit, P/N: Q06HCPU MITSUBISHI Serial data unit, P/N: QJ71C24-R2 MITSUBISHI 64-Point IN unit, P/N: QX40 MITSUBISHI 65-Point OUT unit, P/N: QY50 MITSUBISHI 2-Axis positioning unit, P/N: QD75D2 MITSUBISHI High speed counter, P/N: QD62D MITSUBISHI Memory card, P/N: Q2MEM-8MBA MITSUBISHI QJC1724N MITSUBISHI QJ61BT11N Internal wiring; Sensor line / Communication line PC Host: AUPC Air mount: (4) Balance air cushions ULVAC DA-60S Vaccum pump Static elimination: Ion gun Air conditioner 2009 vintage.
USHIO UFX-2259B-AMB01 ist eine präzise optische Belichtungsanlage, die für den Einsatz in der Halbleiter- und Präzisionsoptik entwickelt wurde. Es wurde mit Spitzentechnologie entwickelt, um Anwendern zuverlässige und leistungsstarke Belichtungsfunktionen zu bieten. Das Belichtungssystem verfügt über eine Feldemissionselektronenkanone, wodurch es in der Lage ist, extrem hochauflösende und wiederholbare Belichtungen zu erzeugen. Die Feldemissionselektronenkanone kann Elektronenstrahlen mit einem Energiebereich von 1-30kV erzeugen und bietet eine ausgezeichnete Kontrolle über die Expositionsdosis. Dadurch wird sichergestellt, dass Präzisionsbelichtungen mit einem Minimum an Diffusion und Elektronenstreuung erreicht werden. UFX-2259B-AMB01 verfügt auch über eine hochpräzise Wafer-Scanner-Einheit. Die Abtastmaschine besteht aus einem Schrittmotor und Schritttreiber, mit dem der Wafer bei programmierbaren Geschwindigkeiten gescannt wird. Diese Funktion ermöglicht eine hohe Geschwindigkeit und hohe Genauigkeit des Wafer-Scans, was zu einer präzisen Belichtungsmusterkontrolle führt. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine beheizte Gasdiffusionskammer, die eine präzise Kontrolle der Gasdiffusion gewährleistet. Die Gasdiffusionsanlage gewährleistet gleichmäßige B-Faktoren auf dem Wafer, unabhängig von Wafergröße oder Expositionsdosisschwankungen. Dieses Merkmal ist besonders wichtig für die Herstellung von hochpräzisen Wafern mit extrem kleinen Merkmalen. Ein integriertes Vakuumextraktionsmodell ist ebenfalls enthalten, das eine optimale Be- und Entladung von Wafern ermöglicht. Die Extraktionsvorrichtung wird verwendet, um Partikel, Verunreinigungen oder andere vom Belichtungssystem zurückgelassene Rückstände zu entnehmen, um sicherzustellen, dass die Wafer frei von Verunreinigungen bleiben. Schließlich ist die USHIO UFX-2259B-AMB01 Einheit mit einem computergesteuerten Kontaktbelichtungsprozessor ausgestattet. Der Kontaktbelichtungsprozessor ermöglicht es Anwendern, Belichtungsparameter zu programmieren und den Wafer nach der Belichtung zu inspizieren. Diese Funktion trägt dazu bei, dass die Ergebnisse reproduzierbar und konsistent sind. Insgesamt ist UFX-2259B-AMB01 eine leistungsstarke und zuverlässige Belichtungsmaschine, die eine maximale Belichtungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Seine Eigenschaften sorgen für hochauflösende und einheitliche Expositionen und vermeiden gleichzeitig Kontaminationsrisiken. Als solche ist es eine ideale Wahl für Halbleiter- und Präzisionsoptikanwendungen.
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