Gebraucht USHIO UFX-2259B-AMB01 #9375525 zu verkaufen
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ID: 9375525
Weinlese: 2009
Exposure system
Shutter unit:
Exposure area, P/N; 2317-3246
Mask light source
Optical parts:
Light collecting mirror, P/N: 2306-3208
Plane mirror, P/N: 2836-7583
Projection lens, P/N: UPL-59EX
Microscope, P/N: 1000051733 / 3185-0361
Workpiece stage:
Beam splitters, P/N: 1000049959 (43.5)
Beam splitter, P/N: 1000029070 (11.5)
Motor unit (X, Y, Θ), P/N: 3026-0870
Work stage units:
Drive shaft pressure wheel unit
Drive shaft unit
Brake shaft unit
Clamp unit
Vacuum suction plate
Anti-uplifting press wheel group
Illumination / Microscope: Light cover light source gate
Micrometer (Precision sliding table), P/N: MHS2-13
OMROM Rotary encoder, P/N: E6B2-CWZ6C (2000P/R)
Reel receiving and discharging mechanism:
AC Motor, P/N: VHR206AGVJ / GV2G250
AC Motor, P/N: 2TK3GN-AGN25K
Clutch, P/N: AMC-40
(6) Drive / Brake units:
MATSUSHITA AC Servo motor (Drive unit), P/N: MSM5AZP1A
MATSUSHITA Motor driver (Drive unit), P/N: MSD5A1P1EA
Clutch, P/N: AMC-5
Piping units:
SMC Solenoid valve workpiece blow, P/N: VCW31-5G-2-02-V-B-X41
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VP542R-5GZ-03A-F
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW41-5G-4-02-V-B-X27
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW3134V-02-5GS-B
PCB:
USHIO Auto micrometer, P/N: PB-1026B
USHIO Motor interface, P/N: PB-1017B
USHIO Motor interface, P/N: PB-1018B
USHIO Rotary encoder I / F, P/N: HC ENC I/F
USHIO Shutter control, P/N: PB-1040B
NDG Switcher, P/N: PB-1028B-U00
Video IN, P/N: RICE-001
Video OUT, P/N: PLUM-001
MELEC Motor control, P/N: C-864V1
Screen / Peripheral:
KEYENCE VT-7S Touch panel display
AU Positioning visual screen
Mouse for visual teaching
PLC:
MITSUBISHI CPU Unit, P/N: Q06HCPU
MITSUBISHI Serial data unit, P/N: QJ71C24-R2
MITSUBISHI 64-Point IN unit, P/N: QX40
MITSUBISHI 65-Point OUT unit, P/N: QY50
MITSUBISHI 2-Axis positioning unit, P/N: QD75D2
MITSUBISHI High speed counter, P/N: QD62D
MITSUBISHI Memory card, P/N: Q2MEM-8MBA
MITSUBISHI QJC1724N
MITSUBISHI QJ61BT11N
Internal wiring; Sensor line / Communication line
PC Host: AUPC
Air mount: (4) Balance air cushions
ULVAC DA-60S Vaccum pump
Static elimination: Ion gun
Air conditioner
2009 vintage.
USHIO UFX-2259B-AMB01 ist eine präzise optische Belichtungsanlage, die für den Einsatz in der Halbleiter- und Präzisionsoptik entwickelt wurde. Es wurde mit Spitzentechnologie entwickelt, um Anwendern zuverlässige und leistungsstarke Belichtungsfunktionen zu bieten. Das Belichtungssystem verfügt über eine Feldemissionselektronenkanone, wodurch es in der Lage ist, extrem hochauflösende und wiederholbare Belichtungen zu erzeugen. Die Feldemissionselektronenkanone kann Elektronenstrahlen mit einem Energiebereich von 1-30kV erzeugen und bietet eine ausgezeichnete Kontrolle über die Expositionsdosis. Dadurch wird sichergestellt, dass Präzisionsbelichtungen mit einem Minimum an Diffusion und Elektronenstreuung erreicht werden. UFX-2259B-AMB01 verfügt auch über eine hochpräzise Wafer-Scanner-Einheit. Die Abtastmaschine besteht aus einem Schrittmotor und Schritttreiber, mit dem der Wafer bei programmierbaren Geschwindigkeiten gescannt wird. Diese Funktion ermöglicht eine hohe Geschwindigkeit und hohe Genauigkeit des Wafer-Scans, was zu einer präzisen Belichtungsmusterkontrolle führt. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine beheizte Gasdiffusionskammer, die eine präzise Kontrolle der Gasdiffusion gewährleistet. Die Gasdiffusionsanlage gewährleistet gleichmäßige B-Faktoren auf dem Wafer, unabhängig von Wafergröße oder Expositionsdosisschwankungen. Dieses Merkmal ist besonders wichtig für die Herstellung von hochpräzisen Wafern mit extrem kleinen Merkmalen. Ein integriertes Vakuumextraktionsmodell ist ebenfalls enthalten, das eine optimale Be- und Entladung von Wafern ermöglicht. Die Extraktionsvorrichtung wird verwendet, um Partikel, Verunreinigungen oder andere vom Belichtungssystem zurückgelassene Rückstände zu entnehmen, um sicherzustellen, dass die Wafer frei von Verunreinigungen bleiben. Schließlich ist die USHIO UFX-2259B-AMB01 Einheit mit einem computergesteuerten Kontaktbelichtungsprozessor ausgestattet. Der Kontaktbelichtungsprozessor ermöglicht es Anwendern, Belichtungsparameter zu programmieren und den Wafer nach der Belichtung zu inspizieren. Diese Funktion trägt dazu bei, dass die Ergebnisse reproduzierbar und konsistent sind. Insgesamt ist UFX-2259B-AMB01 eine leistungsstarke und zuverlässige Belichtungsmaschine, die eine maximale Belichtungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Seine Eigenschaften sorgen für hochauflösende und einheitliche Expositionen und vermeiden gleichzeitig Kontaminationsrisiken. Als solche ist es eine ideale Wahl für Halbleiter- und Präzisionsoptikanwendungen.
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