Gebraucht USHIO UMA-802-HC551RM #9226136 zu verkaufen
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USHIO UMA-802-HC551RM ist eine Belichtungsanlage für den Halbleiterherstellungsprozess. Es ist ein mehrachsiges Belichtungssystem, das eine optische Blendeneinheit für eine Vielzahl von Anwendungen und hochpräzise Belichtung verwendet. Die Maschine zeichnet sich durch hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit für eine präzise und gleichmäßige Belichtung aus. Die größte Komponente des Werkzeugs ist die Belichtungsstufe, ein Substrathalter, der für die Aufnahme und Manipulation von Substraten während des Belichtungsprozesses ausgelegt ist. Es ist mit 6 Freiheitsgraden ausgelegt, die eine volle Drehung und Positionierung von Substraten und Scheibenfuttern ermöglichen. Es ist auch mit einem hochgenauen, Hochgeschwindigkeits-Servomotor ausgestattet, der eine minimale wiederholbare Positionsgenauigkeit und schnelle Beschleunigung ermöglicht. Das Asset verwendet außerdem ein lasergesteuertes Datenkodiermodell, mit dem die Koordinaten jedes Belichtungspunktes genau manipuliert werden. Dieses Gerät wurde entwickelt, um genaue und sofortige Belichtungsdaten bereitzustellen, die eine präzise und kontrollierte Belichtung ermöglichen. Die optische Einheit des Systems besteht aus einer hochauflösenden achromatischen Linse sowie Strahlteilern für Mehrfachbelichtungen. Diese Maschine wurde entwickelt, um eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der Belichtung mit hoher Intensität und geringer Verzerrung von der achromatischen Linse zu gewährleisten. Das Werkzeug ist auch so konzipiert, dass es in der Lage ist, eine Vielzahl von Belichtungswinkeln zu handhaben, was eine präzisere und genauere Strukturierung und Belichtungsabdeckung ermöglicht. Schließlich nutzt die Anlage eine Lichtquelle hoher Intensität, die eine optimale Belichtungsintensität bietet, was zu einem höheren Durchsatz und einer besseren Ausbeute führt. Das Modell ist mit einer Vielzahl von Eingangsoptionen, einschließlich einer Gleichstromsteuerung, einer Spannungsregelung und einer Laserleistungssteuerung, ausgelegt. Diese Systeme sind so konzipiert, dass sie verschiedene Arten von Belichtungssteuerung und Anpassung ermöglichen, je nach den Bedürfnissen des Benutzers. All diese Eigenschaften von UMA-802-HC551RM machen es zu einer hochverstellbaren und leistungsstarken Maschine. Es wurde entwickelt, um zuverlässige und wiederholbare Belichtungen mit einer Vielzahl von Optionen für verschiedene Arten von Substraten bereitzustellen. Es ist ein ideales Werkzeug für die Halbleiterproduktion, aufgrund seiner Zuverlässigkeit und Fähigkeit, Belichtungseinstellungen für eine optimale Ausbeute zu konfigurieren.
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