Gebraucht UVEXS 850A #9021065 zu verkaufen

UVEXS 850A ist eine umfassende automatisierte Belichtungsanlage mit Skalierbarkeit und Flexibilität für die Lithographieforschung und die Fertigungsindustrie. Es ist in der Lage, Düsen-, Metall-, Epoxid-, Glas- und Polymersubstrattypen in Wafer-, Paneel- oder plattenartigen Formaten freizulegen. Mit diesem automatisierten Belichtungssystem können Maskengrößen und Substratbereiche von bis zu 200x200mm belichtet werden. 850A ist so konzipiert, dass sie sowohl für Forschungs- als auch für Produktionssituationen problemlos in den Lithographie-Workflow integriert werden kann. Es ist in der Lage, kontinuierliche mehrspurige Belichtungen sowie kontinuierliche variable einzeilige Blockier- und Verschiebebelichtungen wiederzugeben. Darüber hinaus ist das Gerät mit flexiblen Einspann- und Ausrichtungsmerkmalen für Wafer ausgestattet. Letzteres ermöglicht die Substratausrichtung durch Erkennung von in das Gerät eingebauten Fiduzialen und Ausrichtungszielen mit Präzision bis auf 2 Mikrometer Genauigkeit. Für die Maschinensteuerung ist UVEXS 850A mit einem integrierten Touchscreen ausgestattet. Diese Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Bediener, die Belichtungsparameter des Tools schnell und genau anzupassen und zu modifizieren sowie die Vermögensleistung einfach zu überwachen. Für die Kommunikation mit dem Gerät über Ethernet steht eine Fernbedienungsschnittstelle zur Verfügung. Diese Funktion ermöglicht die Fernüberwachung und Diagnose sowie die Steuerung durch externe Systeme. Für die optische Leistung wird 850A von einer unbegrenzten Quelle von 253,7 nm Licht mit einer minimalen Linienbreite von 0,25 μ m angetrieben, was eine hohe Auflösung zurück zur Basisbelichtung ermöglicht. Zusätzlich ist das Modell mit einer motorisch angetriebenen Nase ausgestattet, die Belichtungen in gleicher Richtung mit variablem Winkel bis zu 45 Grad ermöglicht. Das Gerät ist mit einer automatisierten Reinigungsstation für die Beleuchtungseinrichtung sowie automatisierter Wafer- und Substrathandhabung ausgestattet. UVEXS 850A enthält auch einen erweiterten Mapping-Mechanismus, mit dem Benutzer die Belichtungshomogenität auf einem gesamten Substrat mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Genauigkeit genau messen können. 850A ist eine umfassende Automatisierungslösung für die Lithographieforschung und Fertigungsindustrie und bietet Funktionen und Fähigkeiten, die für eine konsistente und zuverlässige Belichtungsleistung erforderlich sind. Das System ist in der Lage, wiederholbare Ergebnisse mit ausgezeichneter Zeilenauflösung bis auf 0,25 Mikrometer mit Präzisionsausrichtung bis auf 2 Mikrometer zu erzielen. Es ist einfach einzurichten, zu bedienen, zu überwachen und zu steuern, so dass Benutzer Belichtungsparameter schnell und genau an ihre Bedürfnisse anpassen und ändern können. Die Flexibilität und Skalierbarkeit von UVEXS 850A eine zuverlässige und reproduzierbare Exposition gewährleisten.