Gebraucht ATMI 3CHEM #9395590 zu verkaufen

Hersteller
ATMI
Modell
3CHEM
ID: 9395590
Continuous supply system TEOS Delivery system TEOS Cabinet.
ATMI 3CHEM ist eine Einrichtung für die Entwicklung und Optimierung von Dünnschichtprozessen und -materialien. Die Hauptkomponenten der Anlage sind eine Abscheidekammer, eine Prozesssteuereinrichtung und ein Schichtcharakterisierungssystem. Die Abscheidekammer ist ein Luftbordreaktor mit beheiztem Substrathalter und kombinatorischer chemischer Einspritzeinheit für mehrere Gase. Diese Kammer bietet eine ideale Umgebung für fortschrittliche Dünnschichtabscheidungsprozesse und Materialien, die eine präzise Steuerung von Prozessparametern wie Druck, Temperatur, Gaszusammensetzung und Gasdurchflussraten ermöglichen. Die Prozesssteuerungsmaschine ist so konzipiert, dass optimale Prozessbedingungen und Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen dünnen Folien gewährleistet sind, was sowohl eine manuelle als auch eine automatische Steuerung des Abscheideprozesses ermöglicht. Das Schichtcharakterisierungswerkzeug ermöglicht eine chemische, physikalische und elektrische Charakterisierung des Abscheideprozesses und dünner Filme. Es hat die Fähigkeit, Reflektometrie, Dicke, Brechungsindex, Stress und Dehnung, Morphologie, Filmhaftung und Stabilität, elektrische Leitfähigkeit, Grenzflächenenergie und Stabilität, Arbeitsfunktionen, optische Konstanten und Homogenität über mehrere Wafer zu messen. Schließlich bietet 3CHEM Gerät eine Reihe fortschrittlicher Analysewerkzeuge an, die es den Forschern ermöglichen, schnell visuelle Darstellungen der Daten zu generieren sowie umsetzbare Einblicke in Abscheideprozesse und Dünnschichten zu analysieren, zu interpretieren und zu generieren. Weitere Funktionen von ATMI 3CHEM sind automatisierte Algorithmen zur Datenanalyse und Prozessoptimierung, Open Asset-Architektur für Skalierbarkeit und Benutzerfreundlichkeit sowie eine umfassende Bibliothek mit Dünnschichtprozessen und -materialien. Insgesamt ist 3CHEM eine umfassende Anlage, die eine breite Palette von Werkzeugen und Fähigkeiten für Forschungslabore und Produktionsanlagen zur Entwicklung und Optimierung von Dünnschichtprozessen und -materialien bereitstellt.
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