Gebraucht BOC EDWARDS TPU 4 #293637343 zu verkaufen

BOC EDWARDS TPU 4 ist eine Anlage für Dünnschichtabscheidung, Ionenstrahlätzen und Oberflächenmodifikation. Es ist eine kompakte, Mehrzweck-Einkammer-Ausrüstung für Dünnschichtverarbeitungsanwendungen. Dieses System eignet sich für den Einsatz in Forschung, Entwicklung, Pilotproduktion und Produktion. Die TPU 4 wird von gepulsten Filamenten angetrieben, was einen kontinuierlichen Prozess ermöglicht, ohne dass für einen größeren Reinigungsvorgang alle 24 Stunden stillgelegt werden muss. Es ermöglicht es, überlegene Folien mit hoher Geschwindigkeit mit Präzisionssteuerung der Dicke und Zusammensetzung abzuscheiden. Es erleichtert auch erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen durch hervorragende Reproduzierbarkeit, Flexibilität und Prozessstabilität. BOC EDWARDS TPU 4 ist in der Lage, eine großflächige gleichmäßige Abscheidung mit einer niedrigen Kontaminationsrate zu erreichen und verfügt über eine integrierte In- situ-Diagnosefähigkeit. Die Hauptkomponenten der TPU 4 sind die Hauptprozesskammer, die Steuereinheit, die Benutzeroberfläche und ein dedizierter vernetzter Computer. Die Hauptprozesskammer ist eine zylindrische Kammer aus Edelstahl und verwendet für den Eintritt in die Prozesskammer und die Sichtöffnungen zwei verschmolzene Quarztüren. Innerhalb der Kammer gibt es verschiedene Verfahren und Komponenten, die zum Abscheiden und Ätzen dünner Filme ausgelegt sind. Zu diesen Komponenten gehören ein Substrathalter, eine Heißfilamentpistole, eine Substratvorspanneinheit, eine Ionenquelle, eine Extraktionselektrode, eine Abschirmelektrode und eine Verschlußmaschine. Die heiße Filamentpistole erzeugt einen Strom von atomaren und molekularen Spezies, der verwendet wird, um den dünnen Film auf dem Substrat abzuscheiden. Das Substratvorspannwerkzeug wird verwendet, um eine elektrische Vorspannung auf das Substratmaterial aufzubringen, wodurch es mit den energetischen Spezies, die von der heißen Filamentpistole kommen, und den in die Kammer eingeführten Gasarten zusammenwirken kann. Die Ionenquelle wird verwendet, um einen Strahl von energetischen Ionen zu erzeugen, die verwendet werden können, um den Film zu ätzen. Die Extraktionselektrode und die Abschirmelektrode helfen bei der Steuerung des Ionenstrahls, während die Verschlusseinrichtung zur Regelung des Gasstroms in die Kammer verwendet wird. Die Benutzeroberfläche soll die einfache und effiziente Bedienung der Geräte erleichtern. Es besteht aus einem LCD-Display und einem menügesteuerten Bedienfeld, das zur Eingabe von eingestellten Parametern und Prozessabläufen verwendet wird. Es enthält auch eine grafische Anzeige, die es dem Benutzer ermöglicht, den Abscheidungsprozess anzuzeigen. Die Steuereinheit besteht aus einer Reihe von Mikroprozessoren und Peripheriecontrollern, die mit der Netzwerkmaschine verbunden sind. Es dient zur Steuerung aller Komponenten der Anlage sowie zur Überwachung und Anzeige des Prozessablaufs. Darüber hinaus ist BOC EDWARDS TPU 4 mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen wie mechanischen Verriegelungen, einem Türsicherheitsschalter und einem internen Anti-Interferenz-Schutzmodell ausgestattet. Es verfügt auch über ein modernes Vakuum-Überwachungsgerät, das den Benutzer bei gefährlichen Vakuumbedingungen warnt. TPU 4 ist eine erschwingliche, zuverlässige und leistungsstarke Anlage, die für eine Vielzahl von Einzelkammeranwendungen gut geeignet ist. Es ist in der Lage, traditionelle Ablagerungs- und Ätztechnologien zu übertreffen. BOC EDWARDS TPU 4 bietet Anwendern mit seinen fortschrittlichen Prozesssteuerungsfunktionen und seiner integrierten In- situ-Diagnose eine effiziente, sichere und kostengünstige Lösung für ihre Dünnschichtabscheidung, Ionenstrahlätzen und Oberflächenmodifizierungsanforderungen.