Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PROTEUS I #9235351 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PROTEUS I ist eine Anlagenausrüstung zur Behandlung von Prozessen in der Halbleiterindustrie, insbesondere der atomaren Schichtabscheidung (ALD) und der chemischen Dampfabscheidung (CVD). Die Anwendung von FSI PROTEUS I kann dazu verwendet werden, Substrate als Teil dieser Prozesse zu positionieren und auszurichten. Es kann die Temperatur und Atmosphäre automatisch und genau ändern und Abscheidungsprozesse überwachen. TEL PROTEUS I ist eine Spezialkammer, die speziell für den Einbau in bestehende Halbleiterherstellungssysteme entwickelt wurde. Es verfügt über eine ultra-kleine zylindrische Kammer, die für jeden einzelnen Prozess optimiert ist. Das Substrat wird unter Verwendung einer induktiven Spule erwärmt. Dies wird mit einem leistungsstarken Mikrowellensignal kombiniert, das zur Erzeugung einer Hochtemperatur-Umgebung (Convective Assisted Deposition, CAD) verwendet wird. TOKYO ELECTRON PROTEUS I ist in der Lage, Temperatur und Gasfluss automatisch und genau zu steuern. Es ist mit einer Propellerpumpe ausgestattet, die ein patentiertes hocheffizientes Trommeldesign verwendet. Dies wird mit einem Gasregelsystem mit niedriger Durchflussrate kombiniert, das in der Lage ist, den Gasstrom genau und präzise zu steuern. Der Betriebsdruck liegt zwischen hundert und tausend Torr, der Temperaturbereich zwischen fünfundzwanzig und fünfhundert Grad Celsius. PROTEUS I verfügt über einen Echtzeit-Monitor zur In-situ-Analyse der Abscheidung. Der Monitor ist in der Lage, Dicke, Rate, Gleichmäßigkeit und Zusammensetzung jeder Schicht als Ablagerungen zu lesen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Abscheidevorgang den Vorgaben entspricht. Zusätzlich kann der Monitor prozessinterne Anomalien erkennen und die Bediener warnen. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PROTEUS I verfügt über eine multifunktionale Fernbedienungseinheit, die den Bedienern die Möglichkeit bietet, den Prozess von einem entfernten Ort aus zu überwachen und zu steuern. Dadurch entfällt der Gang zur Maschine zur Überwachung und Justierung. Es ist auch in der Lage, mit anderen Maschinen innerhalb der Produktionslinie zu interagieren. FSI PROTEUS I hat einen geräuscharmen, hocheffizienten Lüftermotor. Dies ermöglicht den Einsatz in Reinräumen ohne Beeinträchtigung anderer Prozesse. Darüber hinaus verfügt es über ein professionelles Gas- und Vakuumsystem. Dies ermöglicht ein schnelles Waschen und Evakuieren der Kammer, um Wartezeit zu minimieren. Abschließend ist TEL PROTEUS I eine Anlage, die sicherstellen soll, dass Prozesse in der Halbleiterindustrie, wie ALD und CVD, effizient und genau durchgeführt werden. Es ist hochgenau und kontrollierbar und bietet den Betreibern die Möglichkeit, den Prozess von einem entfernten Standort aus zu überwachen. Darüber hinaus ist der lärmarme, hocheffiziente Lüftermotor für saubere Räume geeignet. All diese Merkmale machen TOKYO ELECTRON PROTEUS I zu einem unschätzbaren Werkzeug für die Halbleiterherstellung.