Gebraucht SAES PS7-MGT40-H-2 #293751069 zu verkaufen

SAES PS7-MGT40-H-2
ID: 293751069
Wafergröße: 8"
Hydrogen purifier, 8".
SAES PS7-MGT40-H-2 ist eine Hochleistungs-Abscheidevorrichtung für physikalische Aufdampfprozesse (PVD). Dieses System hat die Fähigkeit, gleichmäßige, hochwertige dünne Filme auf großen Substratflächen abzuscheiden. Das Gerät ist mit einer digitalen Regelung der Temperatur mit unterschiedlichsten Prozesstemperaturen versehen. Es besteht aus einer 12-Taschen-Drehuhr, die bis zu einer Spinngeschwindigkeit von 200 U/min angetrieben wird, und einer Seitentürkühlmaschine mit beheiztem Sichtfenster. Die Leistungsregelung sowie die Geschwindigkeitsregelung sind in einem Werkzeug mit paneldepth Höhenregelung integriert. Die Architektur der Anlage basiert auf dem Standard Glockenglas Design, das eine perfekt gleichmäßige Erwärmung des Kristalls und seiner Umgebung bietet. Der Substrathalter wird in der Hitze des Modells platziert und ist mit einem variablen Winkelantrieb ausgelegt, um die Kristallwachstumsrate und ihre Gleichmäßigkeit zu optimieren. Ein Merkmal dieser Ausrüstung ist die Fähigkeit, die Substrate innerhalb der Kammer für eine erhöhte Gleichmäßigkeit neigen. Zur Steuerung des Ein-/Ausschalt- und Kühlprozesses sind elektronische Komponenten in das System integriert. Die Einheit ist in einem temperaturgeregelten Edelstahlgehäuse eingeschlossen. Dies sichert die besten Voraussetzungen für einen PVD-Prozess und unterstützt auch die gleichmäßige Beheizung der Kammern. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem Überwachungs- und Steuerungswerkzeug ausgestattet, das die volle Kontrolle und Rückverfolgbarkeit der Abscheideprozesse ermöglicht. Der Monitor verfügt über ein einstellbares Step Scan Asset und die notwendigen Regler, Ventile und Sensoren. Die Einheit kann an die verschiedenen Prozesstemperaturen und -drücke angepasst werden, wodurch eine genaue Geschwindigkeitsregelung ermöglicht wird. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine vereinfachte Wartung und Bedienung, die eine routinemäßige Überprüfung der Ausrüstung ermöglicht. Dazu gehören beispielsweise die Reinigung der Hauptkammer, das Öffnen der Türen für die Betrachtung und Wartung sowie der Austausch von Bauteilen. Die integrierten Sicherheitsverriegelungen bieten dem Bediener höchste Sicherheit im Betrieb. Abschließend ist PS7-MGT40-H-2 Abscheidungssystem ein effizientes, genaues und einfach zu bedienendes Werkzeug für physikalische Aufdampfprozesse. Es bietet auch ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und hohe Qualität Leistung, während große Sicherheitsmaßnahme während des Betriebs und Wartung.
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