Gebraucht AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9162154 zu verkaufen

AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B ist eine Ionenimplantat- und Überwachungsausrüstung, die zur hochpräzisen Ionenimplantation für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es wird bei der Herstellung von empfindlichen, leistungsstarken elektronischen Schaltungen und Komponenten wie Computermikroprozessoren und Speichereinrichtungen eingesetzt. HP 8970B ist ein vielseitiges und leistungsstarkes Werkzeug zur Unterstützung der Entwicklung von Hochgeschwindigkeits-, Low-Power und/oder High-Reliability-Elektronikkomponenten. Die Vorrichtungen bestehen aus einer Ionenquelle, einem Ionenstrahlmonitor und einem Substrathalter. Die Ionenquelle erzeugt Ionen auf einem einstellbaren Energieniveau, das dann auf den Substrathalter bzw. das Widerstandssubstrat des zu bearbeitenden Wafers gerichtet ist. Der Ionenstrahlmonitor verfolgt kontinuierlich den Ionenstrahlstrom und die Partikelzählung und überträgt die Informationen an den Controller, um die richtigen Implantationsparameter sicherzustellen. AGILENT 8970B bietet eine beeindruckende Auswahl an verfahrenstechnischen Steuerungsmöglichkeiten. Der Benutzer kann Implantationsstrahlen in zwei mögliche Richtungen konfigurieren, wobei jede Richtung in der Intensität einstellbar ist, eine einstellbare Beschleunigungsspannung verwendet und Strahlfokusparameter exakt gesteuert werden. Das System ermöglicht einen hohen Durchsatz im Implantatbetrieb, da sich das Substrat entlang seiner x-, y- und z-Achsen bewegen kann, ohne die Vakuumdichtung zu brechen. Zusätzlich können Ionenenergie- und Stromwerte genau auf die Zusammensetzung und Anforderungen eines Substrats zugeschnitten werden. Um die Implantationsgenauigkeit zu gewährleisten, überwacht die optionale Close Loop Accuracy Unit (CLAS) die Implantationsparameter ständig gegen voreingestellte Bedingungen. Falls eine Abweichung erkannt wird, alarmiert die Maschine den Bediener und kann automatische mechanische Korrekturen vornehmen; automatische Feinabstimmungssteuerung des Substrathalters sowie des Strahls. KEYSIGHT 8970B verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die die Konfiguration von Implantatparametern, Strahlengang und kontrollierte Bedienung des Werkzeugs ermöglicht. Diagnose- und Überwachungsinformationen können vom Benutzer auch zur Fehlerbehebung oder Geräteprozesskontrollüberwachung aufgezeichnet und überprüft werden. 8970B eignet sich aufgrund seiner Diffusionsregelalgorithmen und eines Grenzsensors auf der Widerstandssubstratspannungsversorgung besonders gut für hochpräzise Anwendungen. Die Anlage ist für Echtzeit-Verzögerungsmanagement und Drift-Kompensation für veränderte Umgebungsbedingungen konzipiert, die zusammen helfen, Laufzeit und Genauigkeit zu maximieren. Mit seinen beeindruckenden anpassbaren Optionen ist HEWLETT-PACKARD 8970B Ionen-Implantierer und -Monitor die erste Wahl für jeden Halbleiterhersteller.