Gebraucht AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9268910 zu verkaufen

AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B ist ein Ionen-Implantierer und Monitor-Ausrüstung in der Halbleiterherstellung verwendet. Das System ist für die genaue und konsistente Implantation von Ionen in das Substratmaterial mit Strahlströmen von 0,5 nA bis 10 mA über eine Vielzahl von Präzisionen und Winkelkonfigurationen ausgelegt. HP 8970B Einheit bietet eine ausgezeichnete Kontrolle der Strahlparameter für Gleichmäßigkeit, niedrige Dosis und Hochdosis-Implantation. Eines der Merkmale von AGILENT 8970B ist seine hohe Wiederholbarkeit und Steuerbarkeit von Implantationsparametern über eine breite Palette von Wafern. Die Maschine verwendet zwei kV- und zwei Elektronenspannungsversorgungen und einen DC/HF-Stromrichter. Die Ionenstrahlfokussierung wird durch ein Strahlabtastwerkzeug gesteuert, das die unabhängige Einstellung von X-, Y- und Z-Achslängen- und -Größenparametern ermöglicht. Der Strahl wird von einem Beschleuniger/Ablenkelement angesteuert, und der Strahlstrom wird unabhängig mit einem Faraday-Becher gemessen. Das Modell umfasst Strahlstromüberwachungen und Software zur Erfassung von Implantationsparametern und zur Überwachung von Prozessvariablen. KEYSIGHT 8970B Ausrüstung ist mit einer Vielzahl von Waferträgern ausgestattet, einschließlich Dreh- und Linearträger und Shuttles. Die Waferträger können Wafer unterschiedlicher Dicken und Größen aufnehmen und Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll handhaben. Das System ist vollautomatisch und kann so programmiert werden, dass Wafer-Implantate in einer Vielzahl von Formen und Größen ausgeführt werden. Es enthält auch eine Ionenquelleneinheit zur Waferverdünnung oder Oxidation, die vor der Implantation erforderlich sein kann. 8970B bietet präzise und reproduzierbare Implantations- und Verarbeitungsbedingungen, die für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente unerlässlich sind. Es bietet auch hervorragende Überwachungsfunktionen für die Implantatanalyse und kann zur Optimierung der Implantationsbedingungen für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden. Die Maschine kann auch verwendet werden, um die Strahlcharakteristik zu überwachen und die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Implantationsprozesses zu optimieren. HEWLETT-PACKARD 8970B ist sehr zuverlässig und kostengünstig und gilt als ideale Wahl für Ionenimplantationsanwendungen.