Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 9500 #9226045 zu verkaufen

AMAT/AE AMAT/APPLIED MATERIALS 9500 ist eine hochenergetische Ionen-Implantat- und Monitorausrüstung für präzise Wafer-Implantate. Es ist ein zuverlässiges, fortschrittliches System für hochqualitative Implantationen in den Halbleiter-, MEMS und anderen verwandten Industrien. Der schwere Ionen-Implantierer wird mit einer 1250 kW heißaustauschbaren Stromversorgung betrieben, die einen konsistenten und zuverlässigen Fernstrahlstrom für die Plasma- und Ionenimplantation liefert. Es nutzt einen variablen Energiebereich von 0,1 bis 2880keV und kann Probengrößen bis 9 „x 9“ handhaben. Mit variabler Implantatbeschleunigungsspannung (IAV) bis zu 30kV und variabler Extraktionsspannung von bis zu 850V kann es hochpräzise Implantationen mit einer ausgezeichneten Rate an Stabilität und Qualität liefern. Der AE AMAT 9500 verfügt über einen unabhängigen Implantatpositionierer, der die gleichzeitige Programmierung mehrerer Ionen mit einem einzigen Controller ermöglicht. Es umfasst eine automatisierte Aluminium-Ätzkammer und eine Siliziumkammer, die ein effektives Ätzen und eine schnelle Abscheidung von implantiertem Material ermöglicht. Die AE APPLIED MATERIALS 9500 bietet neben der integrierten kryogenen Temperaturregelung eine hervorragende thermische Stabilität während der Implantatlieferung. Darüber hinaus verfügt die Maschine über einen Rückreflexionsmonitor und einen Strahlmonitor, der eine genaue Strahlausrichtung mit Prozesswerkzeugen gewährleistet. Ein 12,1-Zoll-LED-klarer Monitor bietet eine grafische Visualisierung des gesamten Implantationsprozesses vom Implantationsstart bis zum Abschluss. Der Echtzeit-Datenprotokolldatensatz wird zusammen mit der vollständigen Zyklusprotokollierung gestempelt, um eine ordnungsgemäße Implantation zu gewährleisten. Um die Sicherheit zu gewährleisten, ist die AE 9500 für eine ordnungsgemäße Strahlungsabschirmung ausgelegt und wird für die Verwendung mit einer breiten Palette von Implantatmaterialien und Isotopen bewertet. Die robuste mechanische Konstruktion wurde für außergewöhnliche Zuverlässigkeit und Stabilität konzipiert, für ein Werkzeug, das als Implantationsstandard konzipiert ist.