Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR #187269 zu verkaufen

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AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR
Verkauft
ID: 187269
Wafergröße: 8"
Ion Implanter, 8" Direct drive Gas: BF3 Solid: As,P 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500XR ist ein hochmoderner Ionenimplantator und Monitor, der eine zuverlässige und präzise Kontrolle sowohl über den Energiebereich als auch über die aktuellen Werte im Ionenimplantationsprozess ermöglicht. Die 9500XR ermöglicht eine extrem präzise Steuerung des Energiebereichs, der Stromwerte und der Gesamt-Ionen-Dosis und bietet eine optimale Prozesssteuerung für kritische Implantationsanwendungen in der Halbleiter- und anderen verwandten Industrien. Das 9500XR ist in der Lage, Implantationen von bis zu 250 keV mit einem breiten Strombereich von bis zu 50µA und einer maximalen Dosisabgabe von 1,15 µA/cm2 zu implantieren. Sein integrierter Mikroprozessor ermöglicht eine schnelle und genaue Positionierung der Filamentanordnung und der Gaszufuhr, um präzise Energiebereiche und -ströme bereitzustellen. Das 9500XR beinhaltet auch eine fortschrittliche digitale Signalverarbeitung (DSP), um Genauigkeit zu gewährleisten und die Strahlbereichsabtastung zu optimieren. In Verbindung mit AMAT leistungsstarken Beam Positioning Equipment (BPS) bietet AMAT PI 9500XR eine präzise und steuerbare Strahlpositionierungssteuerung. Das BPS kann die Beschleunigung und Verzögerung der Abstrahlgeschwindigkeit sowie die Abtastkalibrierung und den Abstand aktiv steuern, um die Strahlleistung zu optimieren und die gewünschten Dosisabgaberaten zu erreichen. Das Design von APPLIED MATERIALS PI 9500 XR bietet einen hochwertigen, stabilen und wiederholbaren Ionenstrahl mit einem Minimum an Raumladungsverzerrung. Das einzigartige Geschützdesign des Systems mit seiner stufenlos einstellbaren Geometrie bietet eine außergewöhnliche Kontrolle über die Steuerung und Schärfe des Strahlflecks. Seine Erosionskontrolle ermöglicht eine präzise Quellreparatur ohne Anpassungen. Das Gerät verfügt auch über eine Reihe von Sicherheits- und Überwachungsfunktionen. Die SiC-Sensoren sorgen dafür, dass der Implantationsprozess jederzeit sicher bleibt. Zusätzlich schaltet seine automatische Maschine die Versorgung ab, wenn eine minimale Spannungseinstellung oder ein maximaler Strom überschritten wird. Dies hilft, einen sicheren und zuverlässigen Prozess zu gewährleisten, auch wenn es Schwankungen im Werkzeug. AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500 XR ist ein fortschrittlicher, zuverlässiger und präziser Ionenimplantator und -monitor, der eine optimale Prozesssteuerung in der Halbleiter- und anderen verwandten Industrien gewährleistet. Mit seinen vielfältigen Funktionen und leistungsstarken Strahlpositionierungsmöglichkeiten bietet APPLIED MATERIALS PI 9500XR eine zuverlässige und effiziente Implantationslösung.
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