Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR #9228574 zu verkaufen

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ID: 9228574
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
Ion implanter, 6" Utility gas: (Gas name) / Pressure / Flow rate Ar (Process Ar) / 6.3Kg/cm² / 0.1 SLM PN2 Process Vent) / 4.2Kg/cm³ / 7 SLM GN2 (Pneumatics) / 6.3Kg/cm^4 / 2 SLM Exhaust (Type): Flow rate (CMM) / Size Beamline / 17, 200 mm Ion source / 5.66, 110 mm Fly tube / 5.66, 110 mm (2) Gas boxes / 5.66, 110 mm Back & control / 11.3, 200 mm Cooling water description: Pressure (Kg/cm²) & flow rate temp (« C) & size Main unit: 4.9, 19-5 20~25, 3/4" Heat exchanger: 4.9, 37.8, 20-25, 1 1/4" Cryo compressor: 4.9, 13.5, 20~25, 1/2" Processor module: Front door: Cylinder swing type Flat notch (5) Cassette trays Carousal Cassette indexer Wafer blade Hollow gripper arm Arm position sensor Orienter sensor Cleanroom I/F monitor: TFT & lightpen VME: Mobile cont module Wheel module: Wheel std 25 h/sinks, 6" Si coated Heat sink: 0°C Standard PFS type Advance PFS power supply Standard scan system type Spin system: DD Motor & motec Tilt angle: 0~7°C PFS Gas panel: Ar bleed box HYT Sensor Ferro seal flow meter Source / Terminal module: Ion source: Bernas type (No ovens) No vaporizer Filament P.S Arc P.S Extraction P.S Extraction suppression P.S: Hitek series 1000 Source magnet extended AMU P.S Post acceleration P.S Maximum post voltage: 160 kV Extraction electrode: Dual bellows MRS chamber exhaust Facility module: DI Water resistance control Internal heat exchanger system Facility entry direction: Bottom entry Gas box module: Gas box type (4) gas modules Purge module high pressure (Ar) Gas module 1 HP (BF3) Gas module 2 SDS (SiF4) Gas module 3 SDS Gas module 4 SDS (AsH3) Vacuum system: Source turbo pump: LEYBOLD TMP-11000 C Source turbo controller: LEYBOLD TMP-11000 C MRS Turbo pump: LEYBOLD TMP-301 MRS Turbo controller: LEYBOLD (2) Wheel chamber cryo pumps: CTI Torr-10 on board (2) Cryo compressors: CTI 9600 Beam line dry pump: EBARA A07 V-B Processor dry pump: EBARA 40 x20 (2) Gas box exhaust flow switches (3) Ground lances Drawings / Manuals SECS Function Light tower Cryo pump removal rails Control module Control module: CRT Monitor No alignment tools DI Water digital indication Mains matching transformer: STD Type (STL) Isolation transformer: STD Type (STL) Utility configuration: Maximum extraction voltage: 220 keV Tool specification: Line power Maximum controller power: 85 kVA Circuit breaker: 400 Amp Input power: 203 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase+N 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500XR Ionenimplantat- und Monitorausrüstung ist ein modernes Gerät, das in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Dieses System verfügt über eine fortschrittliche Ionenstrahlquelle, die für eine präzise Energie-, Dosis-, Strom- und Pulsbreitenkontrolle ausgelegt ist und extrem präzise Implantationseigenschaften ermöglicht. Die in dieser Einheit verwendete Steuerschaltung ermöglicht es einem Benutzer, Parameter während eines Implantatprozesses zu überwachen und anzupassen. Die 9500XR besteht aus drei Hauptkomponenten: der Ionenstrahlquelle, der Primärbeschleunigungselektrodenmaschine und dem Ionenstrahlmonitor. Die Ionenstrahlquelle ist für eine präzise kontrollierte Implantation von Ionen optimiert, um eine kontrollierte und gleichmäßige Dosis implantierter Atome bereitzustellen. Das primäre beschleunigende Elektrodenwerkzeug besteht aus mehreren Elektroden, die zur Steuerung der Ionen und zur Regelung des Stroms zur Implantationsstelle dienen. Schließlich ermöglicht der Ionenstrahl-Monitor, den Ionenstrahl-Strom ständig zu überwachen und nach Bedarf einzustellen. Die Ionenstrahlquelle des 9500XR verwendet ein einzigartiges Drei-Platten-Design, das einen höheren Gesamtstrahlstrom und höhere Implantatraten ermöglicht. Die Quelle kann von 1 Mikroampere bis 20 Kiloampere betrieben werden und liefert Strahlströme von bis zu 9 A/cm2. Zur Auswahl der gewünschten Implantatenergien gehört ein einstellbares Ionenenergieauswahlgerät. Das primäre beschleunigende Elektrodenmodell verwendet eine Reihe von 'IVG' -Elektroden mit variierenden Parametern, um die Strahlenergie und andere Parameter genau zu steuern. Die erweiterte Steuerschaltung, die in der Ausrüstung verwendet wird, ermöglicht es einem Benutzer, Parameter während der Verarbeitung zu überwachen und zu ändern, um die gewünschte Gleichmäßigkeit der implantierten Ionen zu gewährleisten. Mit dem Monitorsystem des 9500XR können Implantatparameter wie Strahlstrom, Energie, Pulsbreite und Dosis in Echtzeit überwacht werden. Die Monitoreinheit weist außerdem Sonden zur Messung von Strahlstrom, Implantatenergie und Pulsbreite an der Implantatstelle auf. Die Maschine verfügt auch über digitale Rückkopplungssteuerungssysteme, die es dem Bediener ermöglichen, Parameter bei Bedarf während der Fahrt einzustellen. Insgesamt ist AMAT PI 9500XR Ionenimplantat- und Monitorwerkzeug ein leistungsfähiges und vielseitiges Werkzeug zur präzisen Steuerung von Ionenimplantationen. Diese Ressource bietet höchste Genauigkeit in der Dosis- und Implantat-Energiesteuerung, dank seiner Drei-Platten-Ionen-Strahlquelle, der einstellbaren Apertur-Ionen-Energieauswahlvorrichtung und der erweiterten Steuerschaltung. Das Vor-Ort-Monitor-Modell ermöglicht es Benutzern, Parameter während des Implantationsprozesses in Echtzeit zu überwachen und zu ändern. Das 9500XR ist ein unschätzbares Werkzeug, um die besten Implantatergebnisse für integrierte Schaltungen zu erzielen.
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