Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR #9228574 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9228574
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
Ion implanter, 6"
Utility gas: (Gas name) / Pressure / Flow rate
Ar (Process Ar) / 6.3Kg/cm² / 0.1 SLM
PN2 Process Vent) / 4.2Kg/cm³ / 7 SLM
GN2 (Pneumatics) / 6.3Kg/cm^4 / 2 SLM
Exhaust (Type): Flow rate (CMM) / Size
Beamline / 17, 200 mm
Ion source / 5.66, 110 mm
Fly tube / 5.66, 110 mm
(2) Gas boxes / 5.66, 110 mm
Back & control / 11.3, 200 mm
Cooling water description: Pressure (Kg/cm²) & flow rate temp (« C) & size
Main unit: 4.9, 19-5 20~25, 3/4"
Heat exchanger: 4.9, 37.8, 20-25, 1 1/4"
Cryo compressor: 4.9, 13.5, 20~25, 1/2"
Processor module:
Front door: Cylinder swing type
Flat notch
(5) Cassette trays
Carousal
Cassette indexer
Wafer blade
Hollow gripper arm
Arm position sensor
Orienter sensor
Cleanroom I/F monitor: TFT & lightpen
VME: Mobile cont module
Wheel module:
Wheel std 25 h/sinks, 6" Si coated
Heat sink: 0°C
Standard PFS type
Advance PFS power supply
Standard scan system type
Spin system: DD Motor & motec
Tilt angle: 0~7°C
PFS Gas panel: Ar bleed box
HYT Sensor
Ferro seal flow meter
Source / Terminal module:
Ion source: Bernas type (No ovens)
No vaporizer
Filament P.S
Arc P.S
Extraction P.S
Extraction suppression P.S: Hitek series 1000
Source magnet extended
AMU P.S
Post acceleration P.S
Maximum post voltage: 160 kV
Extraction electrode: Dual bellows
MRS chamber exhaust
Facility module:
DI Water resistance control
Internal heat exchanger system
Facility entry direction: Bottom entry
Gas box module:
Gas box type (4) gas modules
Purge module high pressure (Ar)
Gas module 1 HP (BF3)
Gas module 2 SDS (SiF4)
Gas module 3 SDS
Gas module 4 SDS (AsH3)
Vacuum system:
Source turbo pump: LEYBOLD TMP-11000 C
Source turbo controller: LEYBOLD TMP-11000 C
MRS Turbo pump: LEYBOLD TMP-301
MRS Turbo controller: LEYBOLD
(2) Wheel chamber cryo pumps: CTI Torr-10 on board
(2) Cryo compressors: CTI 9600
Beam line dry pump: EBARA A07 V-B
Processor dry pump: EBARA 40 x20
(2) Gas box exhaust flow switches
(3) Ground lances
Drawings / Manuals
SECS Function
Light tower
Cryo pump removal rails
Control module
Control module: CRT Monitor
No alignment tools
DI Water digital indication
Mains matching transformer: STD Type (STL)
Isolation transformer: STD Type (STL)
Utility configuration:
Maximum extraction voltage: 220 keV
Tool specification: Line power
Maximum controller power: 85 kVA
Circuit breaker: 400 Amp
Input power: 203 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase+N
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500XR Ionenimplantat- und Monitorausrüstung ist ein modernes Gerät, das in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Dieses System verfügt über eine fortschrittliche Ionenstrahlquelle, die für eine präzise Energie-, Dosis-, Strom- und Pulsbreitenkontrolle ausgelegt ist und extrem präzise Implantationseigenschaften ermöglicht. Die in dieser Einheit verwendete Steuerschaltung ermöglicht es einem Benutzer, Parameter während eines Implantatprozesses zu überwachen und anzupassen. Die 9500XR besteht aus drei Hauptkomponenten: der Ionenstrahlquelle, der Primärbeschleunigungselektrodenmaschine und dem Ionenstrahlmonitor. Die Ionenstrahlquelle ist für eine präzise kontrollierte Implantation von Ionen optimiert, um eine kontrollierte und gleichmäßige Dosis implantierter Atome bereitzustellen. Das primäre beschleunigende Elektrodenwerkzeug besteht aus mehreren Elektroden, die zur Steuerung der Ionen und zur Regelung des Stroms zur Implantationsstelle dienen. Schließlich ermöglicht der Ionenstrahl-Monitor, den Ionenstrahl-Strom ständig zu überwachen und nach Bedarf einzustellen. Die Ionenstrahlquelle des 9500XR verwendet ein einzigartiges Drei-Platten-Design, das einen höheren Gesamtstrahlstrom und höhere Implantatraten ermöglicht. Die Quelle kann von 1 Mikroampere bis 20 Kiloampere betrieben werden und liefert Strahlströme von bis zu 9 A/cm2. Zur Auswahl der gewünschten Implantatenergien gehört ein einstellbares Ionenenergieauswahlgerät. Das primäre beschleunigende Elektrodenmodell verwendet eine Reihe von 'IVG' -Elektroden mit variierenden Parametern, um die Strahlenergie und andere Parameter genau zu steuern. Die erweiterte Steuerschaltung, die in der Ausrüstung verwendet wird, ermöglicht es einem Benutzer, Parameter während der Verarbeitung zu überwachen und zu ändern, um die gewünschte Gleichmäßigkeit der implantierten Ionen zu gewährleisten. Mit dem Monitorsystem des 9500XR können Implantatparameter wie Strahlstrom, Energie, Pulsbreite und Dosis in Echtzeit überwacht werden. Die Monitoreinheit weist außerdem Sonden zur Messung von Strahlstrom, Implantatenergie und Pulsbreite an der Implantatstelle auf. Die Maschine verfügt auch über digitale Rückkopplungssteuerungssysteme, die es dem Bediener ermöglichen, Parameter bei Bedarf während der Fahrt einzustellen. Insgesamt ist AMAT PI 9500XR Ionenimplantat- und Monitorwerkzeug ein leistungsfähiges und vielseitiges Werkzeug zur präzisen Steuerung von Ionenimplantationen. Diese Ressource bietet höchste Genauigkeit in der Dosis- und Implantat-Energiesteuerung, dank seiner Drei-Platten-Ionen-Strahlquelle, der einstellbaren Apertur-Ionen-Energieauswahlvorrichtung und der erweiterten Steuerschaltung. Das Vor-Ort-Monitor-Modell ermöglicht es Benutzern, Parameter während des Implantationsprozesses in Echtzeit zu überwachen und zu ändern. Das 9500XR ist ein unschätzbares Werkzeug, um die besten Implantatergebnisse für integrierte Schaltungen zu erzielen.
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