Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap III #9086473 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9086473
Wafergröße: 12"
High current ion implanter, 12"
Mini E: Felcon unit fitted, No UCAS
MMTX
VME
Light tower fitted
Post Accel QIII Type
Tilt: +/- 15°
Scan and beamstop mods
QIII ABM Option fitted
(6) Positions gas panel
(1) High pressure toxic module
Source: QIII with (4) pin connectors
IHC Chassis: Single Arc PSU
DSP Type: 0100-00838
Tetrode version:
Surge R: 9090-01382
PSU: 1140-00161 (A1028760)
Extraction area:
EVR fitted
Delate: 0100-01445
Pre Accel PSU: 9090-00397ITL
Leybold Mag drive Digital controller
VME & Main PDU Side
On-board CTI Cryo controller
Pumps removed
CE-Marked.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap III (QIII) ist eine Ionenimplantat- und Überwachungsausrüstung, die eine hochgenaue und präzise Dosiskontrolle während der Produktion ermöglicht. Die Pulsbreitenmodulierte (PWM) -Technologie des Systems treibt eine breite Palette von Ionenarten bei niedrigen bis mittleren Energieregimes an und bietet eine Vielzahl von Implantatanwendungen. Unter Verwendung einer von zwei Beschleunigerquellen ist der QIII in der Lage, die Hysterese für jeden Prozess einzustellen und aufrechtzuerhalten. Der QIII verfügt über einen integrierten hochempfindlichen Beam Position Monitor (BPM) zur Berechnung der Strahlposition zu jeder Zeit, der eine parallele Korrektur von Geradlinigkeitsfehlern und eine präzise Zielausrichtung ermöglicht. Die integrierte Beam Shaping Unit (BSS) liefert auch ein homogenes Strahlprofil für die Konsistenz zwischen Läufen und Chargen. Darüber hinaus kann der QIII bei nicht standardmäßigen Implantaten, die in einem beschleunigten Zeitrahmen abgeschlossen werden müssen, mit einer Schnellbogentabelle aufgerüstet werden. Die offene Plattform der Maschine ist in der Lage, sowohl Standard- als auch Nicht-Standard-Implantatrezepte zu verarbeiten, wobei jede Konfiguration als Layout im Werkzeug gespeichert ist. Darüber hinaus ermöglicht das anpassbare Hardware-Setup präzise Run-by-Run-Anpassungen für unterschiedliche Implantat-Layouts mit minimalen Ausfallzeiten. Der QIII kann auch in schnellen und langsamen Prozessen ausgeführt werden, so dass ein Benutzer die Dosisrate anpassen kann, um einen höheren Durchsatz zu erzielen. Um Genauigkeit und Sicherheit während eines Implantats zu gewährleisten, verfügt das QIII über eine Reihe von Alarmen und Abschaltungen. Im Falle einer Störung ist der Vermögenswert so konzipiert, dass er schnell abgeschaltet wird, um mögliche Schäden zu verringern. Schließlich bietet das umfangreiche Servicemenü des Modells eine automatische Diagnose, mit der Probleme schnell diagnostiziert und behoben werden können. AMAT Quantum Leap III (QIII) ist eine zuverlässige und präzise Ionenimplantat- und Monitorausrüstung, die sich perfekt für den Umgang mit Implantaten mit geringer bis mittlerer Energie eignet. Seine verschiedenen Anpassungsmöglichkeiten machen es ideal für eine Vielzahl von Implantatanwendungen, mit seinen integrierten Alarmen und Abschaltungen für die notwendige Sicherheit und Genauigkeit.
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