Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9220637 zu verkaufen
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ID: 9220637
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
High current implanter, 12"
Energy option: LEAP Ultra low (0.2-80 keV)
APPLIED Door openers
Stand alone
Signal tower: Front and back of tool
Processor:
ISPM Processor
Isocentric scanner
Ultralife QX+ ion source
G1 Electrode: Graphite
Gas panel box: Argon system and gas purge
TEM
LEYBOLD Turbo pump
(3) Cryo pumps
SPECTRA Residual Gas Analyzer (RGA)
MMTX Transformer
Gas panel:
8-Position: AsH3, PH3, GeF4, BF3, SiF4, CO2, 2-Blank
Wafer loader:
(4) Stations SEMI standard wafer loader
Hermos tag reader
SEMI E84 OHT PIO Kit
Low backside particle vacuum end effectors
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus ist ein hochentwickelter Ionenimplantator und Monitor, der eine robuste Materialcharakterisierung und Prozesskontrolle für die Waferbearbeitung ermöglicht. AMAT Quantum X Plus bietet unübertroffene Leistung und Zuverlässigkeit sowie erstklassige Funktionen und Funktionen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Quantum X Plus ist ein Hochleistungs-Ionenimplantator, der in der Lage ist, Ionen praktisch jeder Art zu implantieren, einschließlich Bor, Arsen, Phosphor und Kohlenstoffatome. Es wurde entwickelt, um präzise Präzision, Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Mit seiner fortschrittlichen Elektronenkanonen-Technologie kann es den Ionenimplantationsprozess bis zum atomaren Niveau steuern und bietet eine optimale Wafer-Implantation und Materialcharakterisierung. Quantum X Plus ist mit einem fortschrittlichen Ionenüberwachungssystem ausgestattet, das eine Remote-Prozessüberwachung und einfaches Bedienfeedback ermöglicht. Dieses System ermöglicht die drahtlose Einstellung von Implantationsparametern zur Echtzeitoptimierung des Implantationsprozesses. Es analysiert kontinuierlich Ionenstromantworten und passt automatisch Strahlparameter und Messungen an, um den Prozess zu optimieren. Die momentanen Diagnosefunktionen des Monitors ermöglichen eine schnelle Fehlerisolierung und Reparatur. AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Sicherheits- und Umweltmerkmale. Sein mehrstufiger Kontaminationstester hält die Ionenkontamination auf ein Minimum, während sein Sicherheitsabsperrmodus eine unbefugte Nutzung verhindert. Es bietet auch mehrere Umgebungsüberwachungsmerkmale, wie Vibrations- und Temperatursonden, für eine verbesserte Systemstabilität. Die Lagerung und der Transport von Wafern wird mit den Transportkammern von AMAT Quantum X Plus erleichtert. ANGEWANDTE MATERIALIEN Quantum X Plus ist ein leistungsfähiger und zuverlässiger Ionenimplantator und -monitor, der eine robuste Materialcharakterisierung und Prozesskontrolle ermöglicht. Seine erweiterten Funktionen und Fähigkeiten, kombiniert mit seiner Fähigkeit, Ionen bis auf atomare Ebene zu steuern, machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die Waferbearbeitung.
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