Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X #293661071 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor, der die wachsenden Anforderungen der Halbleiterherstellung erfüllt. Dieses Werkzeug verwendet zur präzisen Strahlformung einen magnetischen Filter mit variablem Winkel (VAMF), der eine minimale Partikelverschmutzung und eine verbesserte Dotierungsgleichmäßigkeit gewährleistet. Durch die Kombination von Inertial-Fokussierungs-Strahlabtastung und erweiterter Steuerschaltung liefert es hochenergetische Fluenzniveaus, um die Verunreinigungskonzentration zu reduzieren. Ein hochpräziser 12-farbiger Quarz-Intervall-Monitor mit optionaler e-Beam-Fehlerüberprüfung sorgt für eine zuverlässige Partikel- und Schadensüberwachung. Wesentliche Teile von AMAT Quantum X sind eine hochpräzise Stromversorgung, die eine hohe Genauigkeit und ein Hochspannungs-Siliziumsubstrat liefert. Das Strahlüberwachungssystem verfügt über eine integrierte Programmierfähigkeit, um die Prozessleistung zu maximieren. Darüber hinaus enthält APPLIED MATERIALS Quantum X eine verbesserte AMAT-Gasfördereinheit, die Ausfallzeiten erheblich reduziert und die Produktivität erhöht. Diese überlegene Gasfördermaschine unterstützt Designer bei der Schaffung einer hochwertigen Plasmaumgebung für das Werkzeug und bei der Aufrechterhaltung einer optimalen Temperatur während der Implantationsläufe. Die gesamte Ionenstrahlsteuerung ist entscheidend für die Optimierung der Implantationsprozessleistung. Quantum X verwendet eine schnelle, vollständig entfernte Betätigungseinrichtung, die eine breite Palette programmierbarer Parameter verwendet, einschließlich Strahlstrom, Energie, Spannung und Spotgröße, mit Ionenimplantat-Präzision bis zu einem Zehntel eines Nanometers. Das vollautomatisierte Betätigungsmodell ist in der Lage, den Betrieb des Ionenimplantierers zuverlässig und genau zu überwachen und zu steuern. AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X verfügt auch über eine Reihe von erweiterten Filterfunktionen, um eine optimale Strahlleistung, Strahlprofilsteuerung und andere Parameter für Konsistenz zu gewährleisten. Die optionale e-Beam Fehlerüberprüfungsausrüstung bietet detaillierte Simulationen von Implantationsläufen, so dass Ingenieure frühzeitige Anzeichen von Defekten erkennen können. Darüber hinaus bietet APPLIED MATERIALS ein hochauflösendes Bildgebungssystem für präzise und genaue Fehlercharakteristiken. Schließlich bietet AMAT Quantum X als erster Ionenimplantator die zusätzlichen Vorteile der patentierten XRR-Technologie (X-Ray Reporting) von APPLIED MATERIAL. Diese Technologie ist in der Lage, die endgültigen Implantateigenschaften und die Dosierungsmengen implantierter Ionen genau zu messen, um Fehler zu beseitigen und Kosten zu senken. Insgesamt stellt APPLIED MATERIALS Quantum X die anspruchsvollsten Ionen-Implantat- und Monitorwerkzeuge dar. Dieses erstklassige Werkzeug kombiniert fortschrittliche Steuerungen, präzise Strahlformung und leistungsstarke Überwachungssysteme für höchste Qualitätskontrolle und Zuverlässigkeit bei der Halbleiterherstellung.
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