Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS / VARIAN Solion XP #9208076 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9208076
Weinlese: 2015
Boron ion implantation system
Gross steady state throughput: ≥ 3000 wph
Boron blanket implant: Up to 2.5E15 steady state 3000 wph
Breakage rate: < 0.10%
Operation up-time > 90%
Metal contamination: > Fe, Ni. Cr, Mg, < 2E10 atoms/cm2
Wafer uniformity within 3%
Wafer to wafer repeatability: 4%
Wafer:
Substrate dimension: 156 mm
Substrate thickness: 180 to 220 um
Substrate geometry: Pseudo square
Substrate surface: Textured wafer
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/VARIAN Solion XP ist eine hochpräzise Ionen-Implantier- und Monitor-Ausrüstung für die Halbleiterherstellung. Es liefert schnelle, präzise und genaue Ionenimplantation und Überwachung für die Herstellung von Halbleitern, Displays und anderen Schaltungen. Es ist in der Lage, bis zu 1200 A/cm2 in Dotierstoffkonzentration zu implantieren und eine lebensechte Bildgebung mit dreidimensionaler Auflösung bis zu 30 nm zu ermöglichen. AMAT Solion XP verfügt auch über aktive Positionsüberwachung und Stromregelung mit geschlossener Schleife, was es zu einer idealen Wahl für hochauflösende bildgebende Anwendungen macht. Der XP ist mit einer hochmodernen Scankammer, hochauflösenden Ionendetektoren und einem Präzisions-Wafer-Handling-System ausgestattet. Es ist mit benutzerfreundlichen Optionen wie automatische Ressourcenzuweisung, Selbstkalibrierung und Softwaresteuerung konzipiert. Diese Funktionen ermöglichen es Benutzern, präzise und effizient mit minimalem Mitarbeitereinsatz zu implantieren. Es hat auch eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche (GUI), die die Programmierung und Parametereinstellung einfach macht. VARIAN Solion XP hat eine einstellbare Strahlgröße und Ausrichtung für optimale Implantationsgenauigkeit. Seine Autotuning-Einheit kann sich für alle Umweltstörungen selbst korrigieren, so dass es sowohl bei gleichmäßigen Implantations- als auch bei abgestrahlten Feldanwendungen sehr zuverlässig ist. Die automatische Quellleistungsregelung gewährleistet eine gleichmäßige Strahlleistung während des gesamten Implantationsprozesses. ANGEWANDTE MATERIALIEN Solion XP kann auch verwendet werden, um den Prozess in Echtzeit zu überwachen, so dass schnelle Korrekturmaßnahmen möglich sind. Die Maschine ist mit Detektionsgeräten ausgestattet, die Strahlfluss, Strom, Verbreitung, Spotgröße und Frequenz messen und melden können. Es verfügt auch über ein Mehrkanal-Sequenz-Implementierungstool, das eine komplexe und präzise Implantatspezifikation ermöglicht. Solion XP ist ideal für Hersteller, die die Kosten senken und die Qualität durch die Optimierung ihres Implantationsprozesses erhalten möchten. Seine Skalierbarkeit und seine fortschrittlichen Funktionen machen es zu einer Plattform für zukünftige Innovationen in der Halbleiterindustrie. Mit seiner Kombination aus überlegener Genauigkeit und flexibler Programmierung ist AMAT/APPLIED MATERIALS/VARIAN Solion XP ein leistungsfähiges und zuverlässiges Gerät für jedes Unternehmen.
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