Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Wheel for 9500 #9261936 zu verkaufen

AMAT 9500-Wheel ist ein Ionenimplantierer und -monitor, der in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Diese fortschrittliche Technologie ist ideal für Hochleistungs-Implantationsprozesse. Die 9500-Wheel wurde entwickelt, um Ionen in die Wafer zu implantieren und die Geschwindigkeit, Gleichmäßigkeit und Dosis der Implantation zu überwachen. Das Rad besteht aus einem Basisrad und einem Satz geladener Partikelquellenmodule. Die 9500-Wheel verwendet einen Multi-Bogen-Ionen-Implantator, um Ionen in die Wafer zu injizieren. Dieser Ionenimplantator und Monitor kann für eine Vielzahl von Backend-Halbleiterproduktionsprozessen eingesetzt werden, einschließlich Implantation, Beschichtung und Sputtern. Das 9500-Wheel ist für hohe Leistung mit einem Ionenimplantator mit einem Multi-Bogen-Anordnung Schema, die eine präzise Implantation ermöglicht konzipiert. Diese Anordnung ermöglicht es dem Benutzer, hohe Dosen von Ionen zu erzeugen und zu injizieren, wodurch eine gleichmäßige Ionenverteilung und Genauigkeit gewährleistet ist. Das Rad hat ein Multi-Source-Design, das es dem Benutzer ermöglicht, den Emissionsstrom, den Quellstrom und den Ionenstrom für jede einzelne Quelle unabhängig zu steuern. Zusätzlich kann das Rad an die Bedürfnisse jedes einzelnen Prozesses angepasst werden. Das Gerät bietet eine flexible Steuerung der Ionenstrahlposition und Divergenz sowie eine Drehmomentkompensation, um eine gleichmäßige Abdeckung zu gewährleisten. Das 9500-Wheel verfügt je nach Anwendung über eine große Auswahl an Ionenquellen. Dieses System wurde entwickelt, um sowohl Standard- als auch erweiterte Ionenquellen anzubieten. Standard-Ionenquellen bieten eine allgemeine Implantation mit einer breiten Palette von Ionenenergien von niedrig bis hoch. Die verbesserten Ionenquellen bieten eine hohe Dosis und Gleichmäßigkeit, die für moderne Ionenimplantationsprozesse entscheidend sind. Darüber hinaus ist die Einheit mit einer mehrkanaligen Porenerfassungsmaschine ausgestattet, die das Vorhandensein von Poren in dem zu implantierenden Material genau erfassen kann. Das 9500-Wheel bietet auch eine Reihe von Überwachungsfunktionen. Das fortschrittliche Überwachungswerkzeug wurde entwickelt, um den gesamten Implantationsprozess von der Quellenvorbereitung bis zur Implantation zu überwachen. Diese Ressource gibt Einblicke, was im Prozess angepasst werden muss, um ein erfolgreiches Implantat zu gewährleisten. Das Modell wurde entwickelt, um wichtige Parameter wie Ionendosis, Implantatwinkel und Wafertemperatur zu überwachen. Darüber hinaus liefert der Monitor auch Feedback zur Quellstabilität, zum Strahlprofil und zur Quellposition. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS 9500-Wheel ein leistungsfähiges Werkzeug für fortgeschrittene Ionenimplantations- und Überwachungsprozesse. Dieser Ionen-Implantierer und -Monitor bietet eine breite Palette von Funktionen und Funktionen für effiziente und genaue Prozesse. Das 9500-Wheel wurde entwickelt, um eine gleichmäßige, gleichmäßige Implantation bei hohen Dosen zu ermöglichen, was es zu einer idealen Lösung für moderne Halbleiterproduktionsprozesse macht.