Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS xR200 #293814441 zu verkaufen
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ID: 293814441
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2000
Implanter, 6"
Central Processing Unit (CPU): MVME162-P244LSE
Gas box:
BF3 Safe Delivery System (SDS)
PH3 Safe Delivery System (SDS)
AsH3 Safe Delivery System (SDS)
SiF4 Safe Delivery System (SDS)
Argon (External Feed)
Chamber: CT-10 Cryo pumps
Source turbo: STP-1000C
Mass Resolution Slit (Mrs) turbo: STP-361C
Source backing: QDP40
Wafer loader: QDP80
EH500 Blower
Source type: Indirectly Heated Cathode (IHC)
Enlarged chamber
High Density Plasma Flood System (HDPFS)
Wheel: DIRECT DRIVE
Wafer on gripper sensor
2000 vintage.
ANGEWANDTE MATERIALIEN 9500xR Ionenimplantator und -monitor ist eine fortschrittliche Ionenimplantations- und Überwachungsausrüstung, die eine effiziente, zuverlässige und präzise Kontrolle des Implantationsprozesses ermöglicht. Das System dient dazu, gewünschte Elemente oder Verbindungen in ein Substrat wie eine Halbleiterscheibe oder ein anderes Material abzuscheiden. ANGEWANDTE MATERIALIEN 9500 XR verwendet eine Cäsiumjodid-Quelle, um einen geladenen Ionenstrahl zu erzeugen. Dieser Strahl wird dann durch eine elektrostatische Linse auf das Substrat beschleunigt und fokussiert. Beim Durchlaufen des Substrats verschiebt und verschiebt der Strahl Elektronen aus dem Gitter der atomaren Struktur des Substratmaterials und wirkt damit als Dotierungsmittel mit gewünschten Dotierungsgraden. Durch die Steuerung der Geschwindigkeit, Form und Größe des Source-Ionenstrahls kann der Ionenimplantationsprozess präzise und effektiv verwaltet werden. 9500xR enthält auch eine integrierte Monitoreinheit. Die Überwachungsmaschine verwendet Kapazitätssensoren und optische Emissionsspektroskopie, um die Position der Ionenstrahlen und die Rate der Implantation zu verfolgen. Diese Rückkopplungsinformationen dienen dann dazu, die Parameter des Ionenstrahls in Echtzeit einzustellen und die Effizienz des Implantationsprozesses zu optimieren. 9500 XR ist so weit fortgeschritten, dass sie in einer Reihe von Branchen eingesetzt werden kann, von Halbleitern über medizinische Implantate bis hin zu anderen Geräten. Seine Ferndiagnose macht es viel einfacher, das Tool zu beheben, zu warten und zu reparieren, was Zeit und Geld spart. Abschließend ist APPLIED MATERIALS 9500xR ein leistungsfähiger und präziser Ionenimplantator und Monitor. Die Integration von Source-Ionenstrahl-Steuerung, integrierte Überwachung und einfache Ferndiagnose machen es zu einer beliebten Wahl für viele technologische und medizinische Implantate. Seine Robustheit und Genauigkeit sorgen für optimale Leistung und Effizienz.
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