Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS xR200 #9032623 zu verkaufen

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ID: 9032623
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Implanter, 8" Power supply specification: Pre-accel: Max 60 KV Post-accel: Max 160 KV Each gas module type: BF3 high pressure gas bottle P SDS gas bottle As SDS gas bottle Bernas source PFG type: HD PFS Wheel type: 8" (1 batch 17 wafers) Direct drive Currently installed 1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR200 ist ein Ionenimplantator und Überwachungsgerät. Es wird in der Halbleiter- und Mikroelektronik-Industrie verwendet, um Ionenimplantation zu erstellen und zu überwachen, ein Verfahren, das für die Herstellung von Halbleiterbauelementen wesentlich ist. AMAT xR200 ist ein in sich geschlossenes System, das sowohl eine Hochdurchsatz- als auch eine Hocheffizienz-Ionenimplantation bietet. Die Einheit umfasst eine Ionenquelle, einen Beschleunigerabschnitt, einen Verzögererabschnitt und eine Montagelinie. Die Ionenquelle ist für die Erzeugung der gewünschten Ionenart und -menge zuständig und diese Ionen werden dann entlang des Beschleunigerabschnitts auf eine gewünschte Geschwindigkeit und Energie beschleunigt. Sie gelangen dann in den Verzögerungsabschnitt, wo die gewünschten Eigenschaften der Ionen manipuliert werden, um ihre Position und Dosisrate ausschließlich zu steuern. Nach Einstellung der gewünschten Eigenschaften werden die Ionen je nach gewünschter Implantatspezies in positiver oder negativer Deckdosis in die Montagelinie injiziert. Die Dosisrate kann während der Implantation eingestellt werden, so dass der Anwender einen gewünschten Dotierstoffgehalt über das gesamte Substrat halten kann. Einmal im Fließband werden dann die Ionen überwacht und die Implantationsparameter können eingestellt werden. APPLIED MATERIALS xR200 ist eine hochgenaue und präzise Maschine mit einer Auflösung von 0,1% des Strahlstroms. Dies ermöglicht eine äußerst genaue und wiederholbare Kontrolle der Implantatdosis, wodurch das Werkzeug für eine Vielzahl von Implantatarten geeignet ist. Seine fortschrittlichen Steuerungssysteme bieten auch eine überlegene Stabilität unter Temperaturänderungen, um sicherzustellen, dass die Dosisrate stabil und konstant ist. Darüber hinaus ist xR200 mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Sein Safety Interlock Asset verhindert eine versehentliche Exposition des Bedieners gegenüber ultraschnellen geladenen Partikeln und HF-Energie, während die fehlersicheren Funktionen sicherstellen, dass das Modell im Falle eines Ausfalls heruntergefahren wird. Zusammenfassend ist AMAT/APPLIED MATERIALS xR200 eine genaue und zuverlässige Ionenimplantat- und Monitorausrüstung. Der hohe Durchsatz und der hocheffiziente Betrieb machen es ideal für den Einsatz in Halbleiter- und Mikroelektronik-Produktionsprozessen, während seine fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen den Anwendern zusätzliche Sicherheit bieten.
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