Gebraucht AXCELIS Optima MD #293628043 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293628043
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Ion implanter, 12"
Medium current implant
Injector
Target positioning or scanning system
CIM: GEM
Gas box
Factory interface: (4) FOUP
Charge control: PLASMA Flood gun, 12" (HP Xe DIN 6 Connection)
End station
Handler system:
AXCELIS Vacuum robot
YASKAWA XU-RC400M-A00 Robot ATM
Linear scan system
CTI Cryo pump system:
IS8
(2) IS250
(2) IS320
(2) PFEIFFER Turbo pumps TMH 1201 for beamline
(2) BUSCH BC100 Rough pumps source or LL+ Transfer
(6) String lines:
Line 1: HP Argon VCR 1/4"
Line 2: SDS PH3 VCR 1/2"
Line 3: SDS AsH3 VCR 1/2"
Line 4: SDS BF3 VCR 1/4"
Line 5: SDS GeF4 VCR 1/4"
Line 6: HP Xe DIN 6
AFFINITY Chiller
(2) CTI Cryo Compressors
2006 Vintage.
AXCELIS Optima MD ist ein Ionenimplantator und Monitor mit digitaler und analoger Funktionalität. Diese Maschine wurde entwickelt, um bei der Verarbeitung von Halbleiterscheiben in einer Vielzahl von Branchen zu helfen. Durch seine Flexibilität und Genauigkeit eignet er sich besonders gut für heutige Wafer-Fertigungsprozesse. Optima MD bietet eine breite Palette von Prozessen, wie Ionenimplantation, Glasabscheidung und epitaktisches Wachstum. Es kann sowohl leichte als auch schwere Ionen implantieren und für unterschiedliche Energiebereiche bis 200 keV und Dosen bis 2x1016 Ionen/cm2 eingesetzt werden. Es bietet auch eine Vielzahl von Quelloptionen für verschiedene Waferanforderungen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein Onboard-Endpunktdetektionssystem zur Gewährleistung der Implantatgenauigkeit sowie einer automatisierten Waferausrichtung. Die digitalen Funktionen des Implantierers bieten eine einfache und umfassende Rezeptkontrolle. Ein GUI-basiertes Monitor- und Steuerungspaket ermöglicht es Benutzern, auf eine Vielzahl von Rezepten zuzugreifen und Parameter an individuelle Prozesse anzupassen. Die Maschine umfasst auch eine erweiterte Diagnose sowie ein Alarm- und Statuspanel mit Echtzeit-Datenanzeige. AXCELIS Optima MD kommt mit einem robusten Edelstahlgehäuse und einer Steuerungsplattform. Es bietet auch eine Reihe von zusätzlichem Zubehör und Komponenten, wie Ionenstrahl-Scanning-Systeme und Prozesssteuerungsmodule. Dieses System ist so konzipiert, dass es einfach und intuitiv bedient werden kann, auch von Mitarbeitern mit eingeschränkter Erfahrung. Optima MD kann eine umfassende und zuverlässige Lösung für die Ionenimplantationsverarbeitung bieten. Es ist eine der effizientesten und genauesten Maschinen, die dank seines flexiblen Designs, seiner robusten digitalen Plattform und seiner vielfältigen Funktionen zur Verfügung stehen. Darüber hinaus ist es einfach zu bedienen und einzurichten, so dass es die perfekte Wahl für jeden Wafer Herstellungsprozess.
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