Gebraucht AXCELIS Optima MD #293723865 zu verkaufen

ID: 293723865
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Medium ion implanter, 12" (4) FOUPs AXCELIS Vacuum robot LINAER Scan system (2) PFEIFFER TMH 1201 Turbo pumps HP Xe DIN 6 Connector Injector system End station Target positioning / scannning system (2) YASKAWA XU-RC400M-A00 Robots Plasma flood gun, 12" CTI IS8 Cryo pump system (2) CTI IS250 Cryo pump systems (2) BUSCH BC100 Rough pumps (2) CTI IS 320 Cryo pump systems 6-position gas box 2007 vintage.
AXCELIS Optima MD ist eine fortschrittliche Ionen-Implantier- und Monitorausrüstung von AXCELIS Technologies. Das System wird von Halbleiteranlagen zum Ätzen und Dotieren von kleinen Halbleiterbauelementen verwendet. Es ist für hohe Erträge, niedrige Betriebskosten mit einem hohen Durchsatz ausgelegt. Optima MD wird von einem MSX-Controller betrieben, der einen Intel Core i7 Prozessor mit 16 GB Speicher betreibt. Zu den Hauptkomponenten gehören ein automatisiertes Wafer-Handling mit optimiertem Durchsatz, ein motorisierter Wafer-Transferarm, eine Strahlanflugbaugruppe und eine automatisierte Strahllenkung. Es ist hocheffizient und kann Geschwindigkeiten bis zu 90 WPH erreichen. AXCELIS Optima MD ist außerdem mit einem leistungsstarken Ionenimplantator ausgestattet, der zielgerichtete Spitzendosierungen von bis zu 6 x 10 ^ 15 Ionen/cm 2 liefern kann. Eine sehr effiziente elektronische Zuführmaschine hilft, eine hohe Genauigkeit Dosierungen zu halten, die einen sehr reproduzierbaren Prozess. Es ist auch in der Lage, verschiedene Ionenenergien zu liefern, ohne dass separate/duale Ionenquellensysteme erforderlich sind. Optima MD verfügt auch über ein leistungsfähiges Echtzeit-Überwachungswerkzeug. Es kann Anomalien oder unerwartete Ereignisse erkennen und Nutzern wichtige Daten und Warnungen bereitstellen. Die Prozessdaten können zur zukünftigen Untersuchung und Analyse in einer FTP-Datei gespeichert werden. Darüber hinaus verfügt AXCELIS Optima MD über ein einzigartiges dreidimensionales Strahlprofil. Auf diese Weise können Anwender das tatsächliche Strahlprofil betrachten und die Strahlausrichtung entsprechend anpassen, um ideale Prozessergebnisse zu erzielen. Die integrierte Prozessanalysesoftware hilft dabei, Prozesse schnell zu identifizieren und Produktvariationen zu reduzieren. Optima MD ist ein robustes und zuverlässiges Asset, das Ausfallzeiten minimiert. Es verwendet ein hochzuverlässiges Vakuummodell für schnelle Implantationszyklen, wodurch Produktausfallzeiten reduziert werden. Das Gerät nutzt auch eine Low-Power-Ionenquelle mit Gleichstrom, um hohe Dosisraten zu liefern. AXCELIS Optima MD ist ein ideales Implantier- und Monitorsystem für eine hohe Ausbeute und kostengünstige Herstellung. Seine effiziente und einfach zu bedienende Schnittstelle und leistungsstarke, aber zuverlässige Komponenten machen es zu einer lohnenswerten Wahl für Halbleiteranlagen.
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