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AXCELIS Optima MD Ionenimplantator ist der weltweit fortschrittlichste Ionenimplantator und -monitor. Es wurde entwickelt, um die Produktivität zu steigern und die Ertrags- und Kostenleistung zu verbessern. Dieses hochentwickelte Tool bietet hohe Durchsatzmöglichkeiten und eine leistungsstarke Prozesssteuerung. Optima MD bietet hohe Beschleunigungsspannung und Fernstrahlstrom für überlegene Implantatergebnisse. Die fortschrittliche Endstations-Stromversorgung sorgt dafür, dass die Dosisgleichförmigkeit für die anspruchsvollsten Anwendungen immer erhalten bleibt. Die kompakte Bauweise ermöglicht maximale Verfügbarkeit und Flexibilität auch auf engstem Raum. AXCELIS Optima MD bietet zudem eine einzigartige Monitorausrüstung mit dem patentierten Pro- Monitor™-System, das die Prozessparameter ständig überwacht und Prozessverschiebungen erkennen kann, um sicherzustellen, dass das Gerät wiederholbare, hochwertige Implantate ausgibt. Optima MD ist für extrem hohe Produktivität und höchste Prozessreproduzierbarkeit ausgelegt. Die einzigartige Prozesssteuereinheit von AXCELIS Optima MD bietet eine kontinuierliche Prozessüberwachung, um jede Prozessinstabilität zu erkennen. Diese Maschine bietet überlegene Sputterausbeute und verbesserte Partikelkontrolle, so dass das Gerät den präzisesten Implantationsprozess produzieren kann. Optima MD ist mit der neuesten Technologie für Ionenstrahl-Diagnosewerkzeuge ausgestattet, einschließlich des Opticore™ elektrischen Strommonitors und des Modemission™ Strahlformmonitors. Diese erweiterten Tools ermöglichen schnellere Durchlaufzeiten und eine verbesserte Prozesskontrolle. Schließlich bietet AXCELIS Optima MD echte Plug-and-Play-Funktionen, die eine schnelle Einrichtung und Implementierung ermöglichen. Das benutzerfreundliche Bedientool in Kombination mit der umfassenden Suite an Diagnose- und Prozesssoftware garantiert eine reibungslose Integration in jede Umgebung. Die Benutzeroberfläche ermöglicht die einfache Navigation und das Verständnis der Implantationsparameter. Zusammenfassend ist Optima MD ein fortschrittlicher Ionenimplantator mit überlegenen Prozesssteuerungsfähigkeiten, hohem Durchsatz und ausgezeichneter Implantateinheitlichkeit. Seine verschiedenen Diagnosetools wurden entwickelt, um alle Prozessinstabilitäten für schnellere Reaktion und verbesserte Produktausbeute zu erkennen. Darüber hinaus können Anwender die Plug-and-Play-Funktionen und die benutzerfreundliche Oberfläche von AXCELIS Optima MD nutzen.
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