Gebraucht EATON / AXCELIS NV10-160 #293829428 zu verkaufen

ID: 293829428
Wafergröße: 3", 4", 5" 6" (capable)
High current implanters, 3", 4", 5" 6" (capable) Maximum implant energy: 160 keV Beam current range: 0.5 - 8mA End station: Manual load Automatic wafer handling: No AT4 Source: Standard Gas box: 4 ELB Strings Vacuum: Dry pump + Diffusion pump Control system: Standard console Operational status: Currently operational Included disks: (2) 2-pt clamps, 4" (4) Clampless , 6" (2) Clampless . 4" (4) Full rings, 4” Full ring, 6” Full ring 0 deg, 4” 2-pt, 3” Full ring, 3” Spare parts: (2) Ion source (2) Manipulator (2) Flag faraday (2) Source bushing (2) Source cooling flange Source isolation valve.
EATON/AXCELIS NV10-160 ist eine hochentwickelte Ionen-Implantier- und Monitorausrüstung für Präzisionsimplantationsanwendungen in der Halbleiterindustrie. Als entscheidendes Bauelement im Herstellungsprozess von integrierten Schaltungen und anderen Halbleiterbauelementen spielen Ionenimplantatoren eine entscheidende Rolle bei der Bestimmung der elektrischen Eigenschaften und Leistungsfähigkeit des Endprodukts. EATON NV10-160 Modell bietet branchenführende Leistung, Fähigkeit und Zuverlässigkeit, um die anspruchsvollen Anforderungen der modernen Halbleiterherstellung zu erfüllen. Ionenimplantation ist ein Prozess, bei dem ein Zielmaterial mit energiereichen Ionen bombardiert wird, um seine chemische Zusammensetzung und physikalischen Eigenschaften zu modifizieren. Diese Technik ist in der Halbleiterherstellung weit verbreitet, um Dotierstoffatome in Siliziumwafer einzuführen und die gewünschten elektrischen Eigenschaften in den Halbleiterbauelementen zu schaffen. AXCELIS NV10-160 Ionenimplantator wurde speziell entwickelt, um präzise und kontrollierte Ionenstrahlen für Implantationsprozesse mit außergewöhnlicher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu liefern. NV10-160 System ist mit fortschrittlicher Ionenquellentechnologie, Beamline-Komponenten und Kontrollsystemen ausgestattet, um eine optimale Leistung und Effizienz zu gewährleisten. Die Ionenquelle erzeugt hochenergetische Ionen, indem sie Gasatome in einer Plasmakammer ionisiert und mittels elektromagnetischer Felder zum Zielmaterial hin beschleunigt. Die Strahllinien-Komponenten, darunter verschiedene Fokussierelemente, Energieanalysatoren und Strahlscanner, dienen der Formgebung, Steuerung und Überwachung der Ionenstrahlparameter während des Implantationsprozesses. Eines der wichtigsten Merkmale von EATON/AXCELIS NV10-160 Ionenimplantator ist seine Hochenergie-Fähigkeiten, so dass es Ionen mit einer breiten Palette von Energien und Dosen implantieren, um verschiedene Prozessanforderungen zu erfüllen. Das Gerät ist in der Lage, Ionenstrahlen mit Energien von bis zu 160 keV zu liefern, wodurch tiefe Implantationsprofile und hochdosierte Anwendungen für verschiedene Halbleitermaterialien und Gerätestrukturen möglich sind. Darüber hinaus bietet EATON NV10-160 eine präzise Strahlstromsteuerung und Dosisüberwachung, um genaue und konsistente Implantationsergebnisse zu gewährleisten. Zusätzlich zu seinen fortschrittlichen Implantationsmöglichkeiten ist AXCELIS NV10-160 Ionenimplantator mit einer umfassenden Überwachungs- und Steuerungsmaschine ausgestattet, um eine effiziente Bedienung und Prozessoptimierung zu ermöglichen. Das Tool bietet Echtzeit-Strahldiagnosen, Prozessüberwachungstools und erweiterte Software-Algorithmen, um Abweichungen in den Ionenstrahlparametern während der Implantation zu erkennen und zu korrigieren. Dies gewährleistet eine stabile und wiederholbare Leistung, minimiert Prozessvariationen und verbessert die Gesamtausbeute und -qualität der Halbleiterbauelemente. Darüber hinaus ist NV10-160 Ionenimplantierer für eine hohe Produktivität und Zuverlässigkeit ausgelegt, um den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterproduktionsumgebung gerecht zu werden. Die Anlage umfasst robuste und robuste Komponenten, anspruchsvolle Vakuumsysteme und erweiterte Automatisierungsfunktionen, um einen kontinuierlichen Betrieb und minimale Ausfallzeiten zu gewährleisten. Das Modell bietet außerdem benutzerfreundliche Schnittstellen, intuitive Softwaresteuerungen und Funktionen zur Fernüberwachung, um Setup, Bedienung und Wartung von Bedienern zu vereinfachen. Insgesamt stellen EATON/AXCELIS NV10-160 Ionenimplantat- und Monitorgeräte eine hochmoderne Lösung für fortschrittliche Halbleiterherstellungsanwendungen dar. Mit seiner außergewöhnlichen Leistung, Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit eignet sich EATON NV10-160 hervorragend für eine Vielzahl von Implantationsprozessen in Halbleiterfertigungsanlagen, sodass Hersteller hochwertige, leistungsstarke Halbleiterbauelemente mit verbesserter Effizienz und Wirtschaftlichkeit erzielen können.
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