Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS 1204990 REV C #9145255 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS 1204990 REV C Ionenimplantator und Monitor ist ein modernes Gerät, mit dem Ionen kontrolliert in Halbleitersubstrate implantiert werden. Es ist darauf ausgelegt, präzise und genaue Tiefenprofile in dünnen Folien herstellen zu können und auch die Parameter zu bestimmen, die eingestellt werden müssen, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Das System besteht aus mehreren Teilen, von denen einer der wichtigsten die Vakuumkammer ist. Hier findet das eigentliche Ionenimplantat-Verfahren statt, dessen Wände aus Edelstahl bestehen. Sein Vakuum wird mit einer pneumatischen Einheit evakuiert, die ein vorbestimmtes Druckniveau beibehält. Dies ist wichtig, um die Stabilität und Integrität des Substrats während des Implantationsprozesses zu erhalten. Die Maschine ist auch mit verschiedenen computergesteuerten Mess- und Analysewerkzeugen ausgestattet. Dazu gehören ein Restgasanalysator, ein Massenspektrometer, ein Ionenmonitor und ein Massenfilter. Das Massenspektrometer wird verwendet, um die Spezies der Ionen zu identifizieren, die implantiert werden, während der Ionenmonitor die kontinuierliche Überwachung der Implantation und ihrer Auswirkungen ermöglicht. Dies trägt dazu bei, dass der Prozess die gewünschten Ergebnisse liefert. Das Werkzeug verfügt auch über hochpräzise ionenoptische Komponenten, die für präzise Strahllenkung und Fokussierung verwendet werden. Dies ist wichtig, um gewünschte Tiefen und Profile zu erreichen sowie die Verteilung von Ionen über das Substrat zu steuern. Zur Anlage gehört auch ein Sekundärelektronenvervielfacher, der zur besseren Detektion der Sekundärelektronen verwendet wird, die beim Eintritt von Ionen in das Substrat entstehen. Dies hilft, eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Prozess zu erreichen. AXCELIS 1204990 REV C Ionenimplantator und Monitor ist ein fortschrittliches Modell, das einen hochgenauen und zuverlässigen Implantationsprozess bietet. Seine Komponenten sind auf höchste Qualität ausgelegt und sind so konfiguriert, dass sie harmonisch zusammenarbeiten und ein effizientes, zuverlässiges und kostengünstiges Ergebnis liefern. Es ist die perfekte Ausrüstung für die Qualitätskontrolle moderner Halbleiterchips.