Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS 25D1HE #9142166 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS 25D1HE Ionenimplantator ist eine hochpräzise Hochleistungsmaschine zur Herstellung und Montage von Halbleitern. Dieser Ionenimplantator eignet sich besonders gut für die hocheffiziente Ionenimplantation und Überwachung von 3D-Stapelwerkzeugen oder MEMS/MOEMS-Geräten. Zu den wichtigen Komponenten von AXCELIS 25D1HE gehören das hochauflösende, hochpräzise Rasterelektronenmikroskop; eine fokussierte Ionenstrahlsäule (FIB); eine entfernte Plasmaquelle (RPS); und eine Hochkraft-Elektronenstrahl (HFEB) -Säule. Die mikroskopischen Fähigkeiten von EATON NOVA 25D1HE ermöglichen die Abbildung von Nanostrukturen mit Sub-Angstrom-Auflösung. Die Ionenstrahlsäulen sind in der Lage, eine Ionenimplantation mit Implantatenergien von bis zu 1 MeV durchzuführen und können den Strahl fokussieren, um die Gleichmäßigkeit der Implantation zu gewährleisten. Das RPS gibt dem Benutzer die Möglichkeit, ein Plasma innerhalb der Implantationskammer zu erzeugen. Dies erleichtert eine schnellere Implantation, eine verbesserte Gleichmäßigkeit des Implantats und eine verringerte Ausrichtung der Vorrichtung. Die HFEB-Säule bietet eine hochpräzise Funktionssteuerung, die es dem Benutzer ermöglicht, Funktionen mit verbesserter Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit zu ätzen. 25D1HE bietet auch eine integrierte Überwachungseinrichtung, die die Leistung des Ionenimplantierers kontinuierlich erfasst und dem Benutzer Echtzeit-Feedback gibt. Dieses Überwachungssystem verwendet verschiedene Sensoren und Diagnosen, um die Werte von Diagnoseparametern wie Ionenstrahlparametern, Kammerdruck und Zelltemperatur zu messen und anzuzeigen. Es ermöglicht dem Benutzer auch, Informationen über den Implantationsprozess zu verfolgen und aufzuzeichnen, um die höchste Qualität und Genauigkeit des fertigen Geräts zu gewährleisten. EATON NOVA/AXCELIS 25D1HE ist eine zuverlässige, fortschrittliche Ionenimplantations- und Überwachungseinheit. Es bietet überlegene Leistung und Genauigkeit in einer Vielzahl von Ionenimplantationsaufgaben, so dass es eine ausgezeichnete Wahl sowohl für Prototyping und Produktionsanwendungen. Mit seiner integrierten Überwachungsmaschine können Anwender die Leistung der Maschine kontinuierlich beurteilen und so Geräte mit optimalen Ergebnissen produzieren.