Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS 6200 #123090 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS 6200 ist ein hochentwickelter Ionenimplantator und Monitor, der alle Aspekte der Ionenimplantation kontrollieren kann. Es ist für die industrielle Herstellung von Wafern konzipiert und kann sehr präzise Dosierungs- und Implantattiefen für die Halbleiterherstellung liefern. Die Maschine basiert auf einer hohen Beschleunigung molekularer Ionen in gleicher Weise wie beschleunigerbasierte Maschinen. Dies ermöglicht dem Anwender eine präzise Homogenität auf der Oberfläche der Wafer. Die Steuerung des Ionenstrahlstroms wird durch einen Ionenstrommonitor geregelt. Dieser Monitor kann den Strahlstrom mit 0.1mA Auflösung messen und liefert außergewöhnlich genaue Ergebnisse. Die Strahlversorgung besteht aus einem doppelten Manipulationssystem. Diese kann durch vertikale Translationsstufen und durch Drehstufen auf die Waferebene gestellt werden. Letzteres kann sich sowohl horizontal als auch längs drehen und eignet sich zum Drehen eines beliebigen Teils des Wafers, der nicht leicht zugänglich ist. AXCELIS 6200 verfügt auch über eine Reihe von programmierbaren Parametern wie Implantatparameter, Dosierungsniveaus und Dosisrate. Benutzer können diese Parameter für jede Aufgabe konfigurieren, und der Computer lädt dann automatisch alle erforderlichen Einstellungen und Parameter für diese Aufgabe. Dies macht den Prozess viel schneller und einfacher für den Benutzer. Darüber hinaus verfügt die Maschine auch über eine Reihe weiterer Merkmale, die es ermöglichen, die höchste Qualität der Implantation zu gewährleisten. Dazu gehören Funktionen wie Temperatur- und Druckkontrolle sowie die Fähigkeit, den Akt der Implantation mit einer breiten Palette von Diagnoseinstrumenten zu überwachen. Insgesamt ist EATON NOVA 6200 eine unglaublich fortschrittliche Maschine, die hochwertige Implantation mit benutzerfreundlicher Bedienung kombiniert. Es eignet sich sowohl für die Produktion von Wafern in niedrigen und hohen Stückzahlen, was bedeutet, dass es den Bedürfnissen und Anforderungen einer breiten Palette von Herstellern gerecht wird.