Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS 6200 #293752727 zu verkaufen

EATON NOVA / AXCELIS 6200
ID: 293752727
Wafergröße: 6"
Ion implanter, 6".
EATON NOVA/AXCELIS 6200 ist ein Hochleistungs-Ionenimplantator und -monitor. Es ist für die Hochserienproduktion in der Ionenstrahlverarbeitung konzipiert und wird in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt, darunter Halbleiterherstellung, Automobil, Luft- und Raumfahrt und Medizin. AXCELIS 6200 ist eine vollständig in sich geschlossene Ausrüstung, die aus vier Hauptkomponenten besteht: der Ionenpistole, der Hochspannungsversorgung, den Beamline-Monitoren und der Steuerung. Die Ionenpistole wird von der Hochspannungsversorgung gespeist, die die Ionen auf ihre Betriebsenergien beschleunigt. Die Beamline-Monitore messen die genauen Parameter des Ionenstrahls für eine präzise Bedienung und Rückkopplung an das Steuergerät. EATON NOVA 6200 ist in der Lage, eine Ionenimplantation auf Wafern bis zu 6 „Durchmesser und bis zu 12“ Länge durchzuführen. Es ist in der Lage Ionenimplantation bei Energien bis zu 3 Millionen Volt pro Meter durchzuführen, mit Strahlströmen von 20 bis 10.000 Nanosamples. Es ist auch in der Lage, sowohl positive als auch negative Ionen zu implantieren, zusammen mit einer Vielzahl anderer Ionen, einschließlich B11, Gaif, O2 +, N2 +, P2 + und Ar +. 6200 bietet höchste Präzision in Bezug auf Strahlgeometrie, Strahlenergie, Strahlstrom und Dosis. Es bietet auch extrem gleichmäßige Strahlprofile und Perforation, ohne die Verwendung einer Maske. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, eine schnelle Verarbeitung mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit durchzuführen und bietet eine hohe Produktivität und Genauigkeit. EATON NOVA/AXCELIS 6200 kommt auch mit eingebauten Sicherheitsfunktionen, wie Visual Alarm Tool (VAS), eine digitale Verriegelung zum Schutz vor Störungen, und erweiterte HV-Stromversorgung und Strahl-Monitor-Schutzsysteme. Dadurch wird sichergestellt, dass der Vermögenswert jederzeit sicher betrieben werden kann. AXCELIS 6200 ist die perfekte Wahl für den effizienten Betrieb und die Steuerung fortschrittlicher, zuverlässiger und zuverlässiger Maschinenleistung. Es bietet überlegene Leistung, Genauigkeit und Flexibilität in einem einfach zu bedienenden und kostengünstigen Paket.
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