Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS 6200 #9182215 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS 6200 Ionenimplantator und -monitor ist eine hochleistungsfähige, hochmoderne Ionenimplantationsanlage. Es kombiniert Spitzentechnologie mit jahrelanger Erfahrung und bietet optimale Leistung, Sicherheit und Zuverlässigkeit. Die Quelltechnologie des Systems unterstützt eine breite Palette von Implantatenergien und hohen Dosen. Die Quelle ist patronenbasiert, mit austauschbaren schubladenbeladenen Tiegeln und Hohlraumquellen und ist für eine einfache Wartung ausgelegt. Der Scanner verwendet ein elektromagnetisches Feld, das eine präzise Steuerung der Implantatrichtung und -größe ermöglicht. Sein Design sorgt für gleichmäßige Dosisverteilungen und Kontrolle von Leitungsrändern und Gitterbereichen. AXCELIS 6200 ermöglicht bis zu vier verschiedene Dosen und Implantatwinkel. Die resultierenden Implantationsmuster werden mit einem auf der Scannerdrehwelle montierten optischen Encoder überwacht. Mit dieser Einheit kann der Implantationswinkel mit einer Genauigkeit von 1,3 Grad überwacht werden. Die Maschine beinhaltet auch einen leistungsstarken Massenstromregler zur präzisen Steuerung der Fördergasdurchflüsse und ein Durchlaufleistungsmerkmal zur Aufrechterhaltung der Prozessstabilität bei Leistungsschwankungen. Die EATON NOVA 6200 Maschine ist mit einem fortschrittlichen Wafer-Temperaturkontrollwerkzeug ausgestattet, um gleichmäßige Temperaturen über den Wafer zu gewährleisten und Schäden an empfindlichen Geräten durch Überhitzung zu reduzieren. Es umfasst sowohl automatische als auch manuelle Wafer-Sortierfunktionen. 6200 Maschine enthält leistungsstarke Diagnosewerkzeuge und eine grafische Benutzeroberfläche, um Probleme zu diagnostizieren und Fehlerbehebung zu unterstützen. Es beinhaltet auch eine fortschrittliche Echtzeit-Asset-Überwachung, um sicherzustellen, dass das Modell jederzeit sicher und zuverlässig funktioniert. EATON NOVA/AXCELIS 6200 bietet mit seinen High-End-Leistungsmerkmalen und der fortschrittlichen Geräteüberwachung eine ideale Lösung für die heutigen anspruchsvollen Ionenimplantationsanwendungen.