Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS 8250 #9187098 zu verkaufen
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ID: 9187098
Wafergröße: 6"
Load station, 6"
Interface module between implanter and ASYST loader.
EATON NOVA/AXCELIS 8250 ist ein hochentwickelter Ionenimplantator und -monitor zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist für höchste Prozesskonsistenz konzipiert und bietet hervorragende Leistung und Erträge für Netzgeräte. AXCELIS 8250 kombiniert einen dreiachsigen Abtastmechanismus mit einem fortschrittlichen computergesteuerten Strahl-Spannungsprofil-Generator für überlegene Genauigkeit bei der Implantierung von N-Typ und P-Typ Dotierungen. Die Ionenquelle von EATON NOVA 8250 ist in der Lage, Ionenstrahlströme von bis zu 150 Milliampere mit Strahlenergien von 10 bis 700 keV zu liefern. Anwenderkonfigurierbare Einstellungen für Strahlstrom, Strahlenergie und Scanbereich ermöglichen hochgradig maßgeschneiderte Implantate, ohne zusätzliche Hardware. Diese fortschrittliche Technologie macht 8250 eine ausgezeichnete Wahl für Doping sowohl neue als auch bestehende Wafer. Die integrierte Prozessüberwachungseinrichtung ermöglicht eine kontinuierliche Analyse der Eigenschaften des implantierten Wafers, einschließlich Dosis, Strahlwinkel, Neigung, Gesamtstrom, Spannung, Profilverschiebung und Dotierstoffpegel. Diese fortschrittlichen Messungen geben EATON NOVA/AXCELIS 8250 die Fähigkeit, Implantate mit unglaublich genauen Dotierstoffprofilen und mit sehr spezifischen Eigenschaften zu liefern, um überlegene Geräte zu liefern. Das System verfügt auch über eine einzigartige Wärmebildsensortechnologie, um die optimale Wafertemperatur während des Implantationsprozesses zu überprüfen. Die fortschrittliche Computersteuereinheit von AXCELIS 8250 ermöglicht eine schnelle und konsistente Einrichtung und Bedienung des Implantats. Die benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht eine einfache Bedienung, und anpassbare Parameter können einfach eingegeben und in der Maschine für den zukünftigen Einsatz gespeichert werden. Die bequeme Fernwartungsfunktion und die hervorragende Diagnose nach der Bedienung machen dieses Tool im Laufe der Zeit einfach und einfach zu warten. EATON NOVA 8250 ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und -monitor, der für überlegene Präzision und homogene Geräteimplantate entwickelt wurde. Dieses vielseitige, benutzerfreundliche Gerät kann schnell und präzise kontrollierten Ionenstrom, Strahlenergie und Scanbereich für optimale Dotierstofflevel und Geräteleistung liefern. Mit seinem leistungsstarken Monitormodell liefert 8250 konsequent Implantate mit außergewöhnlicher Genauigkeit und Ausbeuten.
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