Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS 8250HT #9410494 zu verkaufen
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ID: 9410494
Implanter
Beamline and endstation
(2) Valves
Higher maintenance flexibility
Enhanced ELS Ion source:
Common with MC3, HE, HE3
Active Vaporizer Cooling (AVC)
Source lifetime: > 400 Hours
3-Axis extraction electrode:
Extraction voltage: 15 kV - 40kV
Water cooled
Water cooled: 90°
Mass analysis Magnet
Closed-loop AMU controller
(2) Vaporizers
High temperature
AVC Temperature
Auto tune beam current target
Achieving desired energy
Beam scanning and beam correction
Electrostatic angle correction
Beam parallelism measurement
Exceptional beam parallelism
Angular Energy Filter (AEF)
Dosimetry system and charge control
Secondary electron shower
Electrostatic clamping
In-air wafer handling
In-vac wafer scanning
Wafer handling sequence
Control system
Uniformity and repeatability
Proven control system.
EATON NOVA/AXCELIS 8250HT ist ein anspruchsvoller Ionenimplantator und Monitor für komplexe Anwendungen der Halbleiterherstellung. Es ist ein Werkzeug, das Materialien mit hoher Genauigkeit verarbeitet und in der Lage ist, die Produktionsprozesse von hochreinen, präzisen Materialien zu analysieren, zu regeln und zu steuern. Mit seiner großen Pulsbreite und der kurzen Bearbeitungszeit ist es eine effiziente Lösung für die Hochleistungs-Ionenimplantation. AXCELIS 8250HT nutzt eine Kombination aus Hightech-Beschleunigern, Stromversorgungen und Prozessleitsystemen, um die Produktion auf einem optimalen Niveau zu halten. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die die Produktivität, Genauigkeit und Sicherheit verbessern sollen. Seine flexible Akkumulatorausrüstung (FAS) kann einen Wafer oder eine Solarzelle schnell scannen, um seine Genauigkeit zu gewährleisten und Fehler zu reduzieren. Das programmierte Digital Control System (PDC) dient der präzisen Steuerung der Prozessparameter, um eine möglichst hohe Reinheit und Leistung zu gewährleisten. Es enthält auch eine Intact/Darkside Auto-Analysis (IDAA) -Einheit, mit der Parametereinstellungen für optimierte Ergebnisse analysiert, isoliert und angepasst werden können. Zusätzlich zu seinen automatisierten Funktionen bietet EATON NOVA 8250 HT den Betreibern eine Reihe von Überwachungstools. Die grafische Benutzeroberfläche (GUI) bietet eine einfache und intuitive Möglichkeit, den Prozess zu verwalten und bei Bedarf Anpassungen vorzunehmen. Die Remote Diagnostic Machine (RDS) dient zur Fehlerbehebung, Diagnose und Feinabstimmung von Fehlfunktionen oder Inkonsistenzen im Tool. Seine Quality Mapping-Technologie kann Implantationseffekte an verschiedenen Stellen auf dem Wafer oder der Solarzelle genau erkennen und analysieren. Schließlich bietet die User-Switchable Stage die Möglichkeit, schnell zwischen verschiedenen Implantatbedingungen zu wechseln, um effiziente Prozesse ohne Datenverlust zu gewährleisten. Insgesamt ist EATON NOVA 8250HT ein fortschrittlicher und innovativer Ionenimplantator und -monitor mit einer Vielzahl von Funktionen zur Verbesserung der Prozessgenauigkeit, Geschwindigkeit und Sicherheit. Seine vielseitige und umfassende Steuerung macht es zu einer idealen Lösung für spezialisierte Halbleiterherstellungsanwendungen.
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