Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS 8250HT #9410494 zu verkaufen

EATON NOVA / AXCELIS 8250HT
ID: 9410494
Implanter Beamline and endstation (2) Valves Higher maintenance flexibility Enhanced ELS Ion source: Common with MC3, HE, HE3 Active Vaporizer Cooling (AVC) Source lifetime: > 400 Hours 3-Axis extraction electrode: Extraction voltage: 15 kV - 40kV Water cooled Water cooled: 90° Mass analysis Magnet Closed-loop AMU controller (2) Vaporizers High temperature AVC Temperature Auto tune beam current target Achieving desired energy Beam scanning and beam correction Electrostatic angle correction Beam parallelism measurement Exceptional beam parallelism Angular Energy Filter (AEF) Dosimetry system and charge control Secondary electron shower Electrostatic clamping In-air wafer handling In-vac wafer scanning Wafer handling sequence Control system Uniformity and repeatability Proven control system.
EATON NOVA/AXCELIS 8250HT ist ein anspruchsvoller Ionenimplantator und Monitor für komplexe Anwendungen der Halbleiterherstellung. Es ist ein Werkzeug, das Materialien mit hoher Genauigkeit verarbeitet und in der Lage ist, die Produktionsprozesse von hochreinen, präzisen Materialien zu analysieren, zu regeln und zu steuern. Mit seiner großen Pulsbreite und der kurzen Bearbeitungszeit ist es eine effiziente Lösung für die Hochleistungs-Ionenimplantation. AXCELIS 8250HT nutzt eine Kombination aus Hightech-Beschleunigern, Stromversorgungen und Prozessleitsystemen, um die Produktion auf einem optimalen Niveau zu halten. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die die Produktivität, Genauigkeit und Sicherheit verbessern sollen. Seine flexible Akkumulatorausrüstung (FAS) kann einen Wafer oder eine Solarzelle schnell scannen, um seine Genauigkeit zu gewährleisten und Fehler zu reduzieren. Das programmierte Digital Control System (PDC) dient der präzisen Steuerung der Prozessparameter, um eine möglichst hohe Reinheit und Leistung zu gewährleisten. Es enthält auch eine Intact/Darkside Auto-Analysis (IDAA) -Einheit, mit der Parametereinstellungen für optimierte Ergebnisse analysiert, isoliert und angepasst werden können. Zusätzlich zu seinen automatisierten Funktionen bietet EATON NOVA 8250 HT den Betreibern eine Reihe von Überwachungstools. Die grafische Benutzeroberfläche (GUI) bietet eine einfache und intuitive Möglichkeit, den Prozess zu verwalten und bei Bedarf Anpassungen vorzunehmen. Die Remote Diagnostic Machine (RDS) dient zur Fehlerbehebung, Diagnose und Feinabstimmung von Fehlfunktionen oder Inkonsistenzen im Tool. Seine Quality Mapping-Technologie kann Implantationseffekte an verschiedenen Stellen auf dem Wafer oder der Solarzelle genau erkennen und analysieren. Schließlich bietet die User-Switchable Stage die Möglichkeit, schnell zwischen verschiedenen Implantatbedingungen zu wechseln, um effiziente Prozesse ohne Datenverlust zu gewährleisten. Insgesamt ist EATON NOVA 8250HT ein fortschrittlicher und innovativer Ionenimplantator und -monitor mit einer Vielzahl von Funktionen zur Verbesserung der Prozessgenauigkeit, Geschwindigkeit und Sicherheit. Seine vielseitige und umfassende Steuerung macht es zu einer idealen Lösung für spezialisierte Halbleiterherstellungsanwendungen.
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