Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Al Disk for GSD #293655848 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS Al Disk for GSD ist ein hochmoderner Ionenimplantierer und -monitor für Anwendungen in der Halbleiterherstellung. Dieses Gerät integriert einen digitalen Ionenmonitor, einen Miniatur-Ionen-Implantierer und einen großflächigen digitalen Detektor, um Materialprofilinformationen für eine zuverlässige und kostengünstige Prozesssteuerung bereitzustellen. Der Monitor wurde entwickelt, um eine qualitativ hochwertige Strahlprofilkontrolle zu ermöglichen und eine saubere und genaue Implantation zu gewährleisten. Das System ist in der Lage, Ionen basierend auf ihrer Massen- und Ladungsverteilung zu erkennen und zu überwachen, indem es die Technologien Mass-Range Measurement (MRM) und Tandem-Ionization (TI) verwendet. Zusätzlich beherbergt der Ionenimplantator einen Elektromagneten, um eine gleichmäßige Verteilung der Ionen und einen Hochpulslaser aufrechtzuerhalten, um eine Waferkontamination zu verhindern. Mit AXCELIS Al Disk für GSD haben Anwender Zugriff auf eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche, die eine nahtlose und intuitive Bedienung des Geräts ermöglicht. Zusätzlich enthält die Maschine einen mit einem Abbildungsdetektor verbundenen digitalen Abbildungssensor zur optimierten Prozessüberwachung. EATON NOVA Al Disk für GSD wurde entwickelt, um maximale Nutzungsflexibilität und Durchsatz zu bieten. Mit der Kombination der Bordsteuerung ist das Werkzeug in der Lage, Betriebsfrequenzen zu variieren, Impulsraten zu steuern und Temperaturen für einen optimalen Betrieb zu überwachen. Darüber hinaus verfügt die Anlage über einstellbare Implantationstiefen, eine breite Palette von Implantationswinkeln und Implantationskonfigurationen, die für verschiedene Implantationsmaterialien und Anwendungen entwickelt wurden. Neben seiner Leistung verfügt Al Disk für GSD auch über erweiterte Benutzerschutzfunktionen, einschließlich Echtzeitbeobachtung (einschließlich Alarme und Benachrichtigungen) und Fernüberwachungsfunktionen. Dieses Modell wird weiter durch eine Al Disk-Elektroden-Oberflächenbehandlung (ATES) -Ausrüstung ergänzt, die den Abbau von Elektrodenoberflächen verhindert. Insgesamt ist EATON NOVA/AXCELIS Al Disk für GSD ein hochmoderner Ionenimplantator und Monitor mit modernsten Funktionen, die eine zuverlässige und kostengünstige Prozesssteuerung bieten. Es wurde entwickelt, um eine flexible, aber genaue Implantation mit Benutzerschutzfunktionen und Leistungsmerkmalen bereitzustellen, die eine maximale Nutzungsflexibilität und einen maximalen Durchsatz ermöglichen. Mit seinem fortschrittlichen digitalen Bildgebungssensor können Anwender sicherstellen, dass die höchste Qualität der Implantation erreicht wird.