Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Conversion kit for GSD 200 #293663564 zu verkaufen

ID: 293663564
Wafergröße: 8"
8" Disc assy included.
EATON NOVA/AXCELIS Conversion Kit für GSD 200 ist ein Ionen-Implantier- und Monitorgerät, das entwickelt wurde, um GaAs-Prozessparameter in einem einzigen System genauer zu überwachen und zu messen. Die GSD 200 ist in der Lage, optimierte Geräteleistungen für verschiedene Arten von GaAs-Geräten zu erzeugen, seien es HBTs, PHEMTs oder LED/LD-Strukturen. Dieses Gerät bietet eine verbesserte Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Implantation sowie Überwachung und Kontrolle der Prozessparameter. Mit dieser Maschine ist der Prozessor in der Lage, die Spannung, den Strom und den Strahlemissionsstrom des Ionenimplantators zu überwachen sowie lebenswichtige Eigenschaften wie Ladungssammeleffizienz, momentane Dosisrate und Strahldurchdringungstiefe für eine umfassendere Implantatleistungsbewertung zu sammeln und zu analysieren. Auch die von der GSD 200 gesammelten Datenpakete erleichtern die Korrektur von Implantationsparametern, um konsistente Implantatprofile zu gewährleisten. Die Benutzeroberfläche des GSD 200 ist benutzerfreundlich und einfach gestaltet, sodass der Bediener einfach Befehle eingeben kann. Ein grafischer Bildschirm unterstützt Benutzer bei der Anzeige kritischer Parametereinstellungen für genaue Implantatzonings. Die Einstellung dieses Werkzeugs auf optimale spezifische Prozessparameter kann durch eine umfangreiche Parameterbibliothek geleitet werden, die die Anpassung der Implantationseigenschaften für einen kontrollierten, effizienten und zuverlässigen planaren Waferprozess fördert. Darüber hinaus unterstützt die GSD 200 eine breite Palette von Stromversorgungen, die ein schnelles Schalten von Ionenimplantationsenergien ermöglichen. Dieses Asset bietet Anwendern zudem eine einzigartige Energiespektrumverschiebungsfunktion, die zur Kompensation von Energieverschiebungsfaktoren innerhalb eines bestimmten Bereichs zur Verfügung steht. Dies ist ein sehr nützliches und wertvolles Merkmal, da es hilft, gleichmäßige Implantationsprofile und eine bessere Reproduzierbarkeit zu liefern, auch wenn kleine Änderungen der Implantatspannung auftreten. AXCELIS Conversion Kit für GSD 200 Ion Implanter und Monitor ist eine ausgezeichnete kostengünstige Lösung für überlegene GaAs Überwachung und Profilierung. Es bietet zuverlässige Implantatleistung und gewährleistet konsistente Implantatprofile, die den Anwendern die Sicherheit einer präzisen Implantation bieten. Darüber hinaus ist seine benutzerfreundliche und effiziente Benutzeroberfläche, die den Anwendern eine vollständige Kontrolle über Implantatparameter für optimierte Leistung bietet.
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