Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS GSD 100 #9103072 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS GSD 100 ist ein Ionenimplantierer und -monitor, der speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist eine Hochleistungsausrüstung, die eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen umfasst und ein hohes Maß an Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Flexibilität bietet. AXCELIS GSD 100 basiert auf einer einstufigen Plattform, einem mehrlagigen Design und einem Ionenquellsystem. Das Gerät ist für verschiedene Arten von Ionen konzipiert, mit einem erweiterten Bereich von Quellenenergien und Energien. Es nutzt eine Hochspannungsquelle und ein verstärktes lagrangisches Magnetfeld homogen sowie eine Strahlhomogenisierungsmaschine mit einem unabhängig gesteuerten Magnetfeld. Die Ionenquelle und das Beschleunigungswerkzeug können separat eingesetzt oder in einer Hybridkonfiguration für höhere Strahlströme kombiniert werden. Das Monitoring-Asset besteht aus einer Reihe integrierter Komponenten, darunter das GSD Main Board, eine Vakuumsteuereinheit, ein Beam Monitor, Voltmeters/Multimeter und Softwarepakete. Die GSD Hauptplatine ist verantwortlich für die Steuerung der Strahl- und Umgebungsparameter nach den Benutzerspezifikationen, mit der Steuerung der Gaszusammensetzung mit einer Reihe von Ventilen. Die Vakuum-Steuereinheit ermöglicht die Aufrechterhaltung des richtigen Kammerdrucks und die Kontrolle des Übersprechens. Der Beam Monitor ist für die Überwachung der Strahl-auf-Ziel-Intensität und des Stroms, seines Drehwinkels und des Energiepegels verantwortlich. Schließlich sind die Voltmeter/Multimeter für die Messung von Temperatur, Druck und Strom des Targets während des Implantationsprozesses verantwortlich. Die Softwarepakete werden für den Betrieb des GSDMainBoard, der Vacuum Control Unit und des Beam Monitors sowie für die Anbindung an andere Systeme verwendet. Die Software umfasst ein Expertenmodell mit integrierter Änderung der Parameterkonfiguration sowie eine GUI/CLI-Schnittstelle. EATON NOVA GSD 100 enthält auch eine benutzerdefinierte programmierbare Logik-Controller (SPS), die für die Automatisierung des Geschäfts verwendet werden kann. Mit seinen erweiterten Funktionen kann GSD 100 für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden. Es wird für die Implantation von Dotierstoffatomen in Halbleitern für eine Vielzahl von Branchen verwendet, einschließlich Kommunikation, Automobil, Luft- und Raumfahrt und Militär. Das Gerät wird auch bei der Herstellung von Dünnschichttransistoren (TFTs) sowie beim Ätzen und Reinigen von Siliziumwafern eingesetzt. EATON NOVA/AXCELIS GSD 100 ist ein zuverlässiges System mit hoher Genauigkeit bei der Steuerung und Überwachung des Implantationsprozesses. Es bietet eine hohe Flexibilität für verschiedene Prozesse, verbesserte Sicherheitsfunktionen und eine programmierbare Plattform für kundenspezifische automatisierte Prozesse.