Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS GSD 200-HC #293829781 zu verkaufen
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ID: 293829781
Wafergröße: 6"
Ion implant, 6"
(4) Cassettes
Standard specific layout
ELS Source
Source analyzer magnet
Y Scan and rotary
Beam energy configuration:
Beam energy: 10 ~ 160 keV
Extraction mode: 10 ~ 80 keV
Acceleration mode: 10 ~ 80 keV
Vacuum pump system:
Diff pump: Diff pump8
Cryo pump: CTI-8, CTI-10
Cryo compressor: CTI9700A
Dry pump: IQDP40, IQDP80
Gas / Model / MFC Type
AsH3 / MFC / SDS
PH3 / MFC / SDS
BF3 / MFC / SDS
Ar / MFC / Standard.
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200-HC ist ein hochmoderner Ionenimplantator und Monitor für hochpräzise Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Mit fortschrittlicher Technologie und innovativen Funktionen bietet diese Ausrüstung eine beispiellose Leistung und Zuverlässigkeit im Ionenimplantationsprozess. Im Kern ist AXCELIS GSD 200-HC mit einer Hochstrom-Ionenquelle ausgestattet, die einen fokussierten Ionenstrahl mit außergewöhnlicher Präzision und Genauigkeit erzeugen kann. Diese Ionenquelle ist in einer Vakuumkammer untergebracht, um Kontaminationen zu minimieren und eine konstante Leistung während des gesamten Implantationsprozesses zu gewährleisten. Der Ionenimplantationsprozess selbst beinhaltet das Bombardieren eines Substrats mit energiereichen Ionen, um seine Materialeigenschaften zu modifizieren und spezifische elektrische Eigenschaften zu schaffen. EATON NOVA GSD 200-HC ist in der Lage, die Energie, Dosis und Verteilung von Ionen genau zu steuern, um das gewünschte Implantationsprofil zu erreichen, so dass es ideal für eine breite Palette von Halbleiterherstellungsanwendungen ist. Eines der Hauptmerkmale von GSD 200-HC ist sein fortschrittliches Beamline-System, das elektrostatische und magnetische Elemente umfasst, um den Ionenstrahl mit hoher Genauigkeit zu steuern und zu fokussieren. Diese Beamline-Einheit ermöglicht eine präzise Kontrolle des Implantationsprozesses, wodurch sichergestellt wird, dass die Ionen mit minimaler Divergenz und Streuung auf das Substrat geliefert werden. Zusätzlich zu seiner außergewöhnlichen Beamline-Maschine ist EATON NOVA/AXCELIS GSD 200-HC mit einem umfassenden Überwachungs- und Steuerungswerkzeug ausgestattet, um den Implantationsprozess zu optimieren. Diese Ressource beinhaltet die Echtzeit-Überwachung von Schlüsselparametern wie Strahlstrom, Energie und Dosis, so dass Bediener den Prozess auf optimale Leistung abstimmen können. Ein weiteres wichtiges Merkmal von AXCELIS GSD 200-HC ist das fortschrittliche Wafer Handling-Modell, das das Be- und Entladen von Substraten automatisiert, um Ausfallzeiten zu minimieren und den Durchsatz zu maximieren. Diese Ausrüstung kann eine Vielzahl von Substratgrößen und -formen aufnehmen, so dass sie für verschiedene Halbleiterherstellungsanwendungen sehr vielseitig ist. Um die Sicherheit und Zuverlässigkeit des Ionenimplantationsprozesses zu gewährleisten, ist EATON NOVA GSD 200-HC mit einer Reihe von Sicherheitsverriegelungen und Überwachungssystemen ausgestattet, um Unfälle zu vermeiden und einen reibungslosen Betrieb zu gewährleisten. Diese Sicherheitsmerkmale umfassen Strahlungserkennungssensoren, Vakuumlecksucher und Notabschaltmechanismen zum Schutz von Bedienern und Geräten. Insgesamt stellt GSD 200-HC einen hochmodernen Ionenimplantator und -monitor dar, der außergewöhnliche Leistung, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit für Halbleiterherstellungsanwendungen bietet. Mit seiner fortschrittlichen Technologie und innovativen Eigenschaften eignet sich dieses System gut für hochpräzise Implantationsprozesse in der Halbleiterindustrie und ist damit ein wesentliches Werkzeug zur Optimierung der Geräteleistung und -ausbeute.
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