Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS GSD 200-HC #293829783 zu verkaufen

ID: 293829783
Wafergröße: 6"
Ion implant, 6" (4) Cassettes Standard specific layout ELS Source Source analyzer magnet Y Scan and rotary drive Beam energy configuration: Beam energy: 0 ~ 80 keV Extraction mode: 0 ~ 80 keV Vacuum pump system: Turbo pump: Seiko seiki pump STPA2203C2 Cryo pump: CTI-On board-8, On board-10 Cryo compressor: CTI-9650 Dry pump: QDP-80 (Two units) Gas / Model / MFC Type AsH3 / MFC / SDS PH3 / MFC / SDS BF3 / MFC / Standard Ar / MFC / Standard.
EATON NOVA / 200-HC AXCELIS GSD ist ein innovatives Ion implanter und für Hodurchflusshalbleiterverarbeitungsanwendungen entworfener Monitor. Diese moderne Ausrüstung verfügt über modernste Technologie, um eine präzise und zuverlässige Ionenimplantation für die Produktion integrierter Schaltungen mit außergewöhnlicher Qualität und Leistung zu liefern. Das NOVAAXCELIS GSD 200-HC wurde speziell entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen und bietet überlegene Prozesssteuerung, Vielseitigkeit und Effizienz. Im Zentrum von EATON NOVA GSD 200-HC steht die Ionenimplantationskammer, die eine ausgeklügelte Ionenquellentechnologie beherbergt, die Ionen erzeugt und beschleunigt, um präzise Implantationstiefen und -energien zu erreichen. Das System ist mit einer fortschrittlichen Beamline-Einheit ausgestattet, die die Ionenstrahlbahn und -intensität steuert und eine gleichmäßige Dotierung über das Halbleitersubstrat gewährleistet. Die Ionenquelle verfügt über eine Hochstrom- und Hochenergie-Fähigkeit, die die Implantation einer breiten Palette von Ionenarten mit unterschiedlichen Energien ermöglicht, um unterschiedliche Prozessanforderungen zu erfüllen. Das NOVAGSD 200-HC ist mit einer innovativen Strahlüberwachungs- und Steuerungsmaschine ausgestattet, die die Ionenstrahlcharakteristik kontinuierlich in Echtzeit überwacht. Dies gewährleistet eine genaue und zuverlässige Ionenimplantation, da Abweichungen in Strahlstrom, Energie und Punktgröße schnell erkannt und korrigiert werden, um die Prozessstabilität und Konsistenz zu erhalten. Das Tool verfügt außerdem über umfassende Diagnosewerkzeuge und automatisierte Kalibrierroutinen, um die Strahlleistung zu optimieren und Ausfallzeiten zu minimieren. Ein wichtiges Highlight von EATON NOVA/AXCELIS GSD 200-HC ist die fortschrittliche Wafer-Handhabung, die eine Hochdurchsatzverarbeitung von Halbleiterscheiben mit außergewöhnlicher Präzision und Zuverlässigkeit ermöglicht. Das Modell ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen und -typen zu handhaben, einschließlich Silizium, Galliumarsenid und anderen Halbleitermaterialien, und bietet Herstellern Flexibilität und Skalierbarkeit in ihren Produktionsabläufen. Die Wafer-Handhabungsgeräte verwenden Roboterarme und Wafer-Mapping-Technologie, um eine genaue Positionierung und Ausrichtung während der Implantation zu gewährleisten, was zu hoher Prozessausbeute und Effizienz beiträgt. Das NOVAAXCELIS GSD 200-HC bietet neben seinen überlegenen Ionenimplantationsmöglichkeiten eine benutzerfreundliche Oberfläche und eine intuitive Softwaresteuerung für einfache Bedienung und Wartung. Das Gerät verfügt über eine umfassende Palette von Tools zur Prozessüberwachung und Datenanalyse, mit denen Anwender Prozessparameter optimieren, potenzielle Probleme diagnostizieren und fundierte Entscheidungen treffen können, um die Prozessleistung und Produktivität zu verbessern. Die Softwareplattform unterstützt auch die Fernüberwachung und -diagnose, die eine Echtzeit-Prozessoptimierung und Fehlerbehebung ermöglicht. Insgesamt stellt EATON NOVA GSD 200-HC Ionenimplantator und Monitor einen Höhepunkt technologischer Innovation in der Halbleiterindustrie dar. Mit seiner fortschrittlichen Ionenquellentechnologie, Strahlüberwachungs- und Steuerungsmaschine, Wafer-Handhabungsfunktionen und benutzerfreundlicher Schnittstelle bietet das Tool Halbleiterherstellern eine zuverlässige und effiziente Lösung für die Herstellung hochwertiger integrierter Schaltungen mit präziser Ionenimplantation. Die NOVAGSD 200-HC setzt einen neuen Standard für die Ionenimplantationstechnologie und ermöglicht es Herstellern, bei der Halbleiterinnovation an der Spitze zu bleiben und den sich entwickelnden Anforderungen der Branche gerecht zu werden.
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