Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS GSD 200 HE #293829786 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293829786
Wafergröße: 6"
Ion implant, 6"
(4) Cassettes
Standard specific layout
ELS Source
Source analyzer magnet, FEM
Y Scan and rotary drive
Beam energy configuration:
Beam energy: 0 ~ 1200 keV
Extraction mode: 0 ~ 90 keV
Linac mode: 90 ~ 1200 keV
Vacuum pump system:
Turbo pump: SEIKO SEIKI Pump STPA2203C2
Turbo pump (LINAC): Pump P039 STP603C
Cryo pump (beam line and chamber): CTI-On board-8, CTI-On board-10
Cryo pump (beam line and chamber): CTI-On board-8, CTI-On board-10
Cryo compressor: CTI-9600
Dry pump: QDP-80 (Three units)
Gas / Model / MFC Type
PH3 / MFC / SDS
BF3 / MFC / Standard
XENON / MFC / Standard
Ar / MFC / Standard.
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200 HE Ion Implanter & Monitor ist eine fortschrittliche Implantatausrüstung, die den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Ionenarten zu implantieren, einschließlich Bor, Phosphor, Arsen und Sauerstoff. Das System kann verwendet werden, um in eine Vielzahl von Materialien zu implantieren, einschließlich Siliziumscheiben, sowie andere Verbindungen wie Polysilizium. Es bietet aufgrund seiner hohen Dosisraten und präzisen Strahlsteuerungssysteme hohe Durchsatzmöglichkeiten. Das Gerät verfügt über mehrere hochmoderne Ionensensoren, die die Parameter im Ionenstrahl überwachen und die Leistung des Implantierers optimieren. Dadurch wird sichergestellt, dass die Parameter für die Implantation höchster Qualität in ihrem akzeptablen Bereich bleiben. Eine Vielzahl von Kontrollsystemen helfen, sicherzustellen, dass die richtige Dosierung für die gewünschten Ergebnisse beibehalten wird. Die Maschine bietet auch manuell gesteuerte und automatisierte Instrumentenbedienungen. AXCELIS GSD 200 HE ist auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Diese Funktionen tragen dazu bei, dass der Ionenstrahl und die Prozessumgebung für den Bediener sicher bleiben. Es verfügt über ein integriertes Fehlerüberwachungstool, das den Benutzer benachrichtigt, wenn ein potenziell gefährlicher Zustand erkannt wird. Zusätzlich ist die Anlage mit einer explosionsgeschützten Vakuumisolierkammer ausgestattet, die eine unbeabsichtigte Freisetzung von Material aus der Prozesskammer verhindert. EATON NOVA GSD 200 HE soll Kosten senken und die Effizienz in der Halbleiterindustrie verbessern. Seine innovativen Ionenmonitor- und Steuerungssysteme ermöglichen es, schnell und mit hoher Genauigkeit höhere Dosen zu erreichen. Darüber hinaus sorgt sein Hochgeschwindigkeits-Kühlmodell dafür, dass die Wafer nach der Implantation schnell und gleichmäßig gekühlt werden, was Geräteausfallzeiten reduziert und höhere Wafererträge ermöglicht. Die Ausrüstung ist auch entworfen, um Abfall zu reduzieren und Kontaminationen zu minimieren, was zu höheren Erträgen und einem effizienteren Betrieb führt. Insgesamt ist GSD 200 HE ein fortschrittlicher Ionenimplantator, der die neuesten Technologien mit bewährter Zuverlässigkeit kombiniert und es ermöglicht, eine überlegene Implantationsleistung für die Halbleiterindustrie zu bieten. Die Präzisionskontrollsysteme, die fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale und der effiziente Betrieb machen es zur perfekten Wahl für alle Halbleiteranwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor