Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293597564 zu verkaufen

ID: 293597564
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Medium current implanter, 8" 2004 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2 Ionenimplantator und -monitor ist ein industrielles Implantat-/Überwachungsgerät, das in der Lage ist, präzise Dosen implantierter Ionen über eine breite Palette von Energien zu liefern. Es ist in der Lage, Ionen mit Energien von 1meV bis 10keV zu implantieren, eine viel größere Reichweite als bei den meisten anderen Systemen. Die Eaton ist mit einem hohen Maß an Zuverlässigkeit und Sicherheit gebaut, so dass es ideal für Anwendungen, in denen Präzision Ionen Implantation und Überwachung erforderlich ist. Das Eaton AXCELIS GSD 200E-2 ist mit einem leistungsstarken Energieanalysator ausgestattet, mit dem die Energie jedes implantierten Ionenstrahls genau berechnet werden kann. Der Analysator misst den stromführenden elektrischen Widerstand eines Ionenstrahls, so dass das System seinen genauen Energieniveau bestimmen kann. Zusätzlich ist EATON NOVA GSD 200 E2 mit einem Ionenstrahlstrommonitor ausgestattet, der den Ionenstrahlstrom während des Betriebs kontinuierlich misst. Auf diese Weise können Anwender den Strom überwachen und einstellen, um den Prozess der Ionenimplantation zu optimieren. EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E-2 verfügt über eine fortschrittliche Strahlstabilisierungseinheit, die eine konsistente und zuverlässige Strahlabgabe in der Ziel-Implantationstiefe gewährleistet. Die Maschine verwendet eine Reihe von Magneten, um eine einheitliche Ionenstrahlform zu schaffen, die eine verbesserte Gleichmäßigkeit der implantierten Ionen gewährleistet. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, Prozessabweichungen, die aufgrund von Umwelt- oder Materialschwankungen auftreten können, automatisch zu korrigieren und eine konsistente Dosisregelung zu gewährleisten. AXCELIS GSD 200E2 kommt auch mit einem Hochleistungs-Roboter-Wafer-Handler, der es ermöglicht, Wafer schnell und präzise zu handhaben. Der Roboter wurde entwickelt, um die Wafer mit hohen Geschwindigkeiten, bis zu 30 Chips/min, zu bewegen, die Prozesszeit zu minimieren und den Durchsatz zu verbessern. Zusätzlich ist der Roboter mit einem automatisierten Alignment-Asset ausgestattet, das eine automatische Ausrichtung des Ionenstrahls an der angegebenen Implantationsposition gewährleistet, so dass Benutzer wiederholbare Ergebnisse erzielen können. Insgesamt ist AXCELIS GSD 200 E2 ein zuverlässiger und genauer Ionenimplantator und -monitor, der mit einer Vielzahl von Implantationsenergien umgehen kann. Seine erweiterten Funktionen ermöglichen es Benutzern, präzise Dosen von implantierten Ionen in den erforderlichen Tiefen zu erzielen und können vertraut werden, um konsistente, wiederholbare Ergebnisse zu liefern. Mit seiner hohen Zuverlässigkeit, Sicherheit und Effizienz ist die Eaton EATON NOVA GSD 200E2 eine gute Wahl für jede Anwendung, die eine präzise Ionenimplantation und -überwachung erfordert.
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