Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293814956 zu verkaufen

EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2
ID: 293814956
Ion implanter.
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2 ist ein Ionenimplantator & Monitor, der eine präzise Ionenimplantation und Monitorsteuerung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen ermöglicht. Dieses Gerät verfügt über eine hochtemperaturintegrierte Ionenquelle, einen Hochvakuumstrahltransport, zwei ultrahochempfindliche Sensoren und ein integriertes MBI-System (Multiple Beam Interlock). Dieser Ionenimplantator wurde entwickelt, um die präzise und zuverlässige Herstellung von Halbleiterbauelementen zu erleichtern und eignet sich sowohl für die Serienproduktion von mikro- und makroelektronischen Bauelementen als auch für Forschung und Entwicklung. AXCELIS GSD 200E-2 Ionenimplantator & Monitor bietet eine effiziente, präzise und zuverlässige Produktion mit einer breiten Palette verfügbarer Implantationseinstellungen. Es verwendet eine hochtemperaturintegrierte Ionenquelle, die eine breite Palette von Ionen, einschließlich Bor, Phosphor, Arsen und anderen Dotierstoffen, auf hohe Energien beschleunigen kann, während ihre optimale Energie über eine breite Palette von Dosen zu erhalten. Dies ermöglicht ein breites Anwendungsspektrum, wie die präzise Implantation von Übergangstiefen oder flachen Übergängen, eine präzise und präzise Vermischung von Dotierungselementen sowie eine präzise und präzise Vermischung von Trägern. Der Ionenimplantierer & Monitor verfügt über zwei ultrahochempfindliche Sensoren, das „TRIO“ und die „Quadrate“, die eine präzise Erfassung und Steuerung der Position, Größe und Energie des Strahls ermöglichen. Beide Sensoren bieten eine überlegene Auflösung und Genauigkeit, auch wenn sie hochenergetischen Partikeln ausgesetzt sind, während sie gegen Schweißstrahlung beständig sind. Die integrierte MBI-Einheit sorgt dafür, dass alle Implantationsschritte, wie Strahlfokusebene Ausrichtung und Stabilisierung, in konsistenter und reproduzierbarer Weise durchgeführt werden, was eine hervorragende und zuverlässige Geräteleistung gewährleistet. EATON NOVA GSD 200 E2 bietet umfassende Datenerfassungsfunktionen, die eine vielseitige Analyse und Aufzeichnung des Strahls mit Analyse und Berichterstattung über Implantationsparameter ermöglichen. Es verfügt auch über eine automatisierte Prozesssteuerungsmaschine und automatisierte Rückkopplungssteuerung, die effiziente, genaue und reproduzierbare Implantationsprozesse ermöglicht. Das Tool bietet darüber hinaus Diagnose- und Berichtsfähigkeit sowie integrierte Schalt- und Leistungssteuerung. Insgesamt ist EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E-2 Ionen-Implantierer & Monitor eine ausgezeichnete und sehr vielseitige Bereicherung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es bietet effiziente, präzise und zuverlässige Implantationsprozesse mit einer Vielzahl an verfügbaren Einstellungen. Es ist auch sehr zuverlässig und langlebig und ist in der Lage, eine Vielzahl von verschiedenen Ionen zu handhaben. Damit ist AXCELIS GSD 200 E2 eine ideale Wahl für die Herstellung von mikro- und makroelektronischen Geräten.
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