Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS GSD Classic #9243444 zu verkaufen
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ID: 9243444
Wafergröße: 5"
Weinlese: 1996
High current ion implanter, 5"
Gas options:
Gas1: PH3 SDS
Gas2: ASH3 SDS
Gas3: BF3 SDS
Gas4: AR HP
Ion source: Bernas ion source (No vaporizer assembly)
S Control DI
Filament PS
Arc PS
Extraction HVPS
Suppression PS
Terminal PD DI
Analyzer magnet PS
Source magnet PS
TC Control DI
Gaussmeter / Probe
High voltage stack
EBARA AA10 Source rough pump
Accel HVPS
Accel supression
Accel HV stack
Robot control DI
Wafer transfer
Loadlock controller
Electron shower PS
Electron shower assembly
Cryo pumps (P2,9): (2) CTI Torr 8 and (2) Torr 10
Cryo compressors: CTI (2) 8200 and (2) 9600
EBARA AA70 Roughing pump (RP2)
CELL 133 Cell controller
(4) Cassette tables
Load buffer
Vacuum cassette
Dummy buffer
Cassette stand
LCD Monitor
Sun workstation
Rotary drive motor: Belt drive
Rotary drive DI
HCIG Controller
Flat aligner
Main power: 50 kVA, 208 V, 3-Phase, 5-Wire, 50 Hz
1996 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD Classic Ionenimplantator und Monitor ist ein Hochleistungs-Scangerät zum Implantieren von Ionen in Halbleitermaterialien. Dieses leistungsstarke und anspruchsvolle Gerät nutzt die ECD-Technologie, um die Dosierung und Konzentration von Ionen, die in die Halbleitermaterialien implantiert werden, genau zu steuern. Es ist auf innerhalb von 0,1% genau, um sicherzustellen, dass das Material ordnungsgemäß für seine beabsichtigte Anwendung behandelt wird. Der AXCELIS GSD Classic Monitor verfügt über einen 32-Bit-farbigen LCD-Touchscreen zur einfachen Anzeige der Daten. Die grafische Benutzeroberfläche (GUI) ist auf Komfort ausgelegt; seine benutzerfreundlichen Menüs bieten schnellen Zugriff auf Einstellungen und ermöglichen es den Betreibern, den Überwachungsprozess an ihre spezifischen Bedürfnisse anzupassen. Das Gerät verfügt über ein Wechselspeichergerät, das eine einfache Datenverwaltung ermöglicht. EATON NOVA GSD Classic Ionenimplantator und Monitor ist für wartungsarmen Betrieb und effizienten Betrieb konzipiert. Die Vorrichtung ist mit einem Hochleistungsbeschleuniger ausgestattet, der in der Lage ist, präzise Implantatoperationen in einem Bruchteil der Zeit durchzuführen, die für herkömmliche Verfahren benötigt wird. Es ist auch für die Sicherheit ausgelegt, mit einem strahlungsgeschützten Außengehäuse und einem detaillierten Vibrationsüberwachungssystem, das die Betreiber auf übermäßige Geräusch- oder Temperaturspitzen aufmerksam macht. GSD Classic Ionenimplantierer und Monitor ist derzeit eines der fortschrittlichsten Systeme seiner Art auf dem Markt. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Halbleiterunternehmen und Laboratorien, die Präzision, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit in ihren Ionenimplantations- und Überwachungsprozessen benötigen. Seine hochwertigen Komponenten und zuverlässige Leistung machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für fast jedes Projekt.
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