Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS GSD-HE #9262470 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS GSD-HE ist ein Ionenimplantator & Monitor, der zur Implantation/Sputterung ionisierender Partikel in Substrate für verschiedene Anwendungen wie Halbleiter, MEMS und andere elektronische Bauelemente verwendet wird. Es vereint die besten Eigenschaften von Eaton und AXCELIS in einer vielseitigen und effizienten Einheit. AXCELIS GSD HE verwendet elektromagnetische Linsen, um ionisierende Partikel exakt an das Substrat zu liefern. Dadurch kann das Gerät Ionen präzise liefern und gleichzeitig ihr Energieniveau steuern. Es verwendet auch eine 6-Pegel-Hochspannungseinspeisung, um die Ionendosierung entsprechend den spezifischen Anwendungsanforderungen zu konfigurieren und zu steuern. Das Gerät ist mit einem Joystick-Controller und 3-Level-Display-Geräten zur einfachen Steuerung der Implantat- und Monitorparameter ausgelegt. EATON NOVA GSD/HE bietet eine Reihe von Funktionen, um eine optimale Leistung zu gewährleisten, wie ein temperaturgesteuertes Vakuumsystem für optimale Temperaturstabilität, ein Einfallswinkel (AOI) -Gerät für Feinabstimmwinkeleinstellungen und eine Reihe von Ionenquellenkonfigurationen je nach Anwendung. Weitere Merkmale sind ein Ionenstrommonitor, ein Ionenenergiemonitor, ein Substrat-Temperatur-Monitor, ein Sauerstoffsensor und eine Strahlpositionsausrichtmaschine. Darüber hinaus ist EATON NOVA/AXCELIS GSD/HE mit einem ausgeklügelten Plasmakontrollwerkzeug für maximale Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit des Implantats konzipiert. Es verfügt auch über eine Gaseinspritzanlage, um optimale Vakuumbedingungen zu erreichen, sowie einen mehrkanaligen Signalprozessor, um eine Vielzahl von Parametern zu überwachen und die Prozesseffizienz zu optimieren. Um einen kontinuierlichen und konsistenten Prozess zu gewährleisten, verfügt EATON NOVA GSD HE über eine Reihe von Schaltungen, darunter ein computergestütztes Datenerfassungsmodell, eine Stromversorgung, einen Leistungsmonitor und einen Pulshöhenanalysator, der Teilchengeschwindigkeit und Energieinformationen erfassen kann. Insgesamt ist EATON NOVA GSD-HE eine zuverlässige und vielseitige Einheit, die Präzision und Genauigkeit beim Implantieren/Sputtern liefert. Es ist eine ideale Wahl für Anwendungen von der Halbleiterherstellung über MEMS bis hin zu anderen elektronischen Bauelementen. Mit seinen leistungsstarken Funktionen ermöglicht GSD-HE eine verbesserte Produktivität, Effizienz und Gleichmäßigkeit des Produkts.