Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS GSD UHD #9094928 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9094928
Wafergröße: 8"
Disks, 8"
Si coated
Blue box
GRTV
1D (Can be converted to 2D)
CM Type: CM2 or CM3
Regular fence.
EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD ist ein ultrahoher Dosis-Ionen-Implantierer/-Monitor, der von Eaton Corp. entwickelt wurde. AXCELIS GSD UHD basiert auf Eatons innovativer und bewährter High Current Source Technologie Technologie. EATON NOVA GSD UHD verfügt sowohl über einen Ionenimplantator als auch über einen Monitor und bietet kostengünstige Lösungen sowohl für niedrige Energie als auch für Hochenergie-Implantate. GSD UHD kann die Dosis-, Strom- und Strahlprofile der Hochenergie-Ionenimplantation genau steuern. So können Anwender Ionenimplantationsprozesse exakt an die hohen Anforderungen der aktuellen Gerätetechnik anpassen. Der EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD Monitor überwacht kontinuierlich die Implantationsbedingungen mit einem hochpräzisen Ionenstrahlstromwert sowie dessen Position. Kombiniert bietet AXCELIS GSD UHD Implantat- und Monitorsystem den Anwendern die bestmögliche Genauigkeit und Kontrolle der Implantationsparameter. EATON NOVA GSD UHD Ionenimplantator ist mit einer revolutionären Hochstromquelle ausgestattet, die eine Strahlstromfähigkeit von bis zu 1mA bei Ionenenergien bis zu 3keV und mehr bietet. Dies ermöglicht eine präzise und präzise Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten und Geräten mit höchster Präzision und Wiederholbarkeit. GSD UHD-Implantierer hat auch eine breite Palette von Gas- und Endstation Optionen, so dass Benutzer Elektronenstrahl Wärmebehandlung, Mischen Nitrid und Oxidfilm Stacks, und Glühen des Substrats. EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD Monitor bietet Benutzern mit seinem integrierten hochauflösenden Mehrkanal-Signalprozessor Echtzeit-Zugriff auf kritische Verarbeitungsparameter. So können Anwender Strahlströme, Strahlprofil und Strahlenergie während der Implantation genau steuern. Es liefert den Anwendern auch wichtige Informationen wie Dosiseinheitlichkeit, Gesamtdosis und Ionenstrom für die Nachanalyse von Implantatparametern. AXCELIS GSD UHD Ionenimplantat- und Monitorsystem bietet Anwendern die zuverlässigste und präziseste Ionenimplantationsleistung auf dem Markt und bietet eine kostengünstige Lösung für die fortschrittlichsten Verarbeitungsanforderungen von heute. Mit seinem robusten Funktionsumfang stellt EATON NOVA GSD UHD die besten Inan-Implantier- und Monitorsysteme dar.
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