Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS GSD #9103073 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS GSD ist ein von Eaton AXCELIS Pte entwickelter Ionenimplantator und -monitor. Ltd. Dieses System ist speziell für die Implantation von hochenergetischen Ionen wie Bor, Phosphor und Arsen in Materialien für verschiedene Anwendungen, wie Halbleiterherstellung und fortschrittliche Materialbearbeitung. Es ist in der Lage, Implantatenergien bis zu 7 mesaVolt anzuwenden und unterstützt eine Reihe von Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 14 Zoll. Das Gerät verwendet eine direkte Gasaustauschmaschine für verbesserte Stabilität und Gleichmäßigkeit des Ionenstrahls. AXCELIS GSD bietet eine leistungsstarke Reihe von Funktionen, um die Arbeitsfähigkeit des Benutzers zu verbessern. Es beinhaltet ein Gasflusslieferwerkzeug, das zwei Ionenquellen verwendet, die für zwei Ionenarten konfigurierbar sind. Dadurch kann der Anwender die Ionenmengen für eine verbesserte Strahlgleichförmigkeit und -qualität unabhängig steuern. Das Gerät ist mit fortschrittlichen Überwachungsfunktionen ausgestattet, wie vier Kanäle Ionenquellen-Temperaturregelung und Strahlpositionierung, die eine engere Kontrolle der Strahlparameter ermöglichen. Außerdem wird ein Schutzkrümmer zur Verfügung gestellt, um eine Überionisierung der Proben zu vermeiden. Das Asset verfügt außerdem über ein automatisiertes Strahlzentrier- und Schimmermodell, das die Gleichmäßigkeit des Ionenstrahls weiter verbessern kann. Dieses Gerät verfügt auch über ein voll ausgestattetes Datenerfassungssystem mit Konversationssoftware, mit der der Benutzer die Prozessparameter des Implantats genau überwachen und bei Bedarf Anpassungen vornehmen kann. Darüber hinaus verfügt die Einheit über eine integrierte digitale Signalverarbeitungsmaschine, die dazu beitragen kann, jegliche Instanzen einer persistenten Ionisierung der Probe oder maschinenbezogene Fehler und Unregelmäßigkeiten zu minimieren. Schließlich ermöglicht das ausgerüstete Rasterelektronenmikroskop dem Anwender, Strahl und Substrat und die Auswirkungen des Implantationsprozesses zu beobachten. EATON NOVA GSD ist ein hochentwickeltes, zuverlässiges und vielseitiges Ionenimplantations- und Überwachungswerkzeug. Es ist Dual-Ionen-Source-Konfiguration, automatisierte Strahlzentrierung und Shimming, Datenerfassung und digitale Signalverarbeitungssysteme bieten dem Benutzer eine beispiellose Kontrolle über den Implantationsprozess. Darüber hinaus bietet das Protective Manifold, das integrierte Rasterelektronenmikroskop und die vierkanalige Ionenquellen-Temperaturregelung und Strahlpositionierung dem Benutzer ein höheres Maß an Sicherheit und Genauigkeit für seine Implantationsarbeit. Zusammenfassend ist GSD die ideale Wahl für diejenigen, die nach einer fortgeschrittenen Ionenimplantation und -überwachung suchen.