Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS GSD #9210440 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS GSD ist ein Ionenimplantator und -monitor, der für Ionenimplantationsanwendungen mit hohem Durchsatz entwickelt wurde. Es kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, einschließlich Halbleiter, Keramik und dünne Filme. Das Gerät läuft auf einem proprietären Softwarepaket, AXCELIS GSD Implantation Software, die flexible und optimierte Prozesssteuerung ermöglicht. Der Implantationsprozess wird durch ein hochenergetisches Diodegun beschleunigt und eine 12-Wege-Strahllinie ermöglicht die unabhängige Nutzung mehrerer Implantatarten/-energien. Es verfügt über ein 410 mm quadratisches Scheibenfutter und eine Festkammerarchitektur, um einen hohen Durchsatz zu ermöglichen. Der Prozess wird mit einer Reihe von Sensoren überwacht, die Ionenstrom, Druck, Temperatur, Gasfluss und Waferposition messen. Das Gerät integriert auch fortschrittliche Diagnose- und Feedback-Steuerungssysteme, die eine schnelle und genaue Messung kritischer Prozessparameter ermöglichen. Darüber hinaus sind Analysewerkzeuge zur Nachimplantationsüberprüfung und Prozessoptimierung im Softwarepaket enthalten. Das intelligente Steuerungssystem EATON NOVA GSD optimiert die Implantation, um die Zykluszeit zu reduzieren, die Gesamtkosten zu minimieren und die höchste Implantationsgenauigkeit zu gewährleisten. Um die Sicherheit während des Prozessbetriebs zu gewährleisten, verfügt das Gerät über mehrere Sicherheitssysteme, einschließlich Sicherheitsverriegelungen und Alarme für die Lecksuche. Das modulare Layout ermöglicht auch eine einfache Installation, Bedienung und Wartung. Dieses vielseitige System wird in Industriemärkten wie Medizinprodukten, Luft- und Raumfahrt- und Automobilkomponenten sowie für Forschungs- und Entwicklungszwecke eingesetzt. Es bietet eine ausgezeichnete Plattform sowohl für F & E-Arbeit als auch für die Produktion mit hohem Volumen.