Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS HC3 Ultra #9411352 zu verkaufen
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ID: 9411352
Ion implanter
YASKAWA Robot
YASKAWA XU-ACL4140 Robot track
Disk type: Variable Speed Drive (VSD)
Wafer transfer type: In-Air
Dry transformer
HYT
Vacuum ARM: CAM Arm
(3) CTI-CRYOGENICS 250 F (On-board) Cryo pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
Shower type: P-Shower 11020020
Cell type: V6
BROOKS AUTOMATİON Fixload load port
Spare parts:
Part number / Description
1187286 / Disk TC DI Cryo interlock
11053210 / Cell controller V6
11049380 / Scan controller
11054580 / Wafer transfer controller
11054560 / Load lock controller
1195730 / Rotary drive controller
11028010 / Rotary drive amplifier
XU-BCD3111 / YASKAWA Robot driver box
XU-CN0821 / YASKAWA Robot controller box
11050220 / Power dose controller
11017920 / Gas box controller
110000950 / Source controller
1214110 / Filament PSU
1214120 / Arc PSU
1214130 / Cathode PSU
1188151 / Terminal beam line DI
1163967 / Ground electronic DI
1163960 / Ground electronic DI
1195140 / Disk VAC DI
1188310 / Electrode manipulator DI
1214460 / Plasma filament PSU
11020020 / Plasma controller
110098500 / 100101530 / Rotary driver brake controller
2100276 / Source magnet PSU
1188375 / Terminal electronic DI
2200176 / Decal PSU
2200173 / HV PSU Extraction suppression
2200173 / HV PSU Decal suppression
11054570 / Gyro controller
11034940/ 2200175 / AMU PSU (Power ten)
2200187 / Extraction PSU
1196510 / Gyro ball screw assembly
1196610 / V43
1908930 / Air interface
1908940 / Air interface
110001490 / Wafer holder assembly
11030960 / CAM Arm assembly
110002530 / V3 Assembly
11047650 / V7
2014 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultra ist eine hochentwickelte Ionenimplantat- und Monitorausrüstung, die den Anforderungen moderner Ionenimplantationsanwendungen gerecht wird. Dieses Tool verfügt über eine Hochstrom-Ionenquelle, die Ionen bis zu 50 KeV beschleunigen kann, eine mehrstufige demountable Vakuumkammer, ein automatisiertes Mustersystem und ein robustes Steuerpaket. AXCELIS HC3 Ultra ist besonders vorteilhaft für die Bildung hochwertiger Schichten in aktiver Mikroelektronik, Dielektrik und Substraten. EATON NOVA HC3 Ultra verwendet eine elektrostatische Tauchlinseneinheit, um sicherzustellen, dass ein konsistenter Ionenstrahl auf das Zielgebiet gerichtet ist. Diese Maschine ermöglicht es dem Benutzer auch, die Form des Ionenstrahls sowie seine Größe und Ausbreitung genau einzustellen. Darüber hinaus enthält HC3 Ultra eine mehrstufige demontierbare Vakuumkammer, die hilft, eine stabile Prozessumgebung für die Ionenimplantation aufrechtzuerhalten. EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultra verfügt zudem über eine fortschrittliche benutzerfreundliche Oberfläche. Seine intuitive grafische Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, das Werkzeug vollständig zu überwachen und Parameter wie den Ionenstrom (bis zu 50 KeV) anzupassen, um den Prozess zu steuern. Die Software hilft Benutzern auch bei der Einstellung der Strahlform und der Energieausbreitung der Ionen. Darüber hinaus haben Anwender die Möglichkeit, zwischen Implantatprogrammen auszuwählen und umzuschalten sowie benutzerdefinierte Gasgemische zu speichern. AXCELIS HC3 Ultra enthält eine Reihe weiterer innovativer Funktionen. Die automatisierte Strukturierung ermöglicht es Benutzern beispielsweise, Substrate mit vorgewählten Implantationsenergien und -dosen zu mustern. Es zeigt auch ein einzigartiges Verschiebungsregister, das Benutzern erlaubt, erhöhte Schicht-für-Schicht-Implantationsprozesse zu führen. EATON NOVA HC3 Ultra ist ein idealer Ionenimplantator und Monitor für fortgeschrittene Implantationsprozesse. Die Hochstrom-Ionenquelle, die mehrstufige demontierbare Vakuumkammer, das automatisierte Mustermodell und die benutzerfreundliche Oberfläche machen es zum optimalen Werkzeug für schnelle und genaue Implantationsergebnisse. Darüber hinaus bieten das einzigartige Schieberegister und die einstellbaren Strahlform- und Spreizeigenschaften den Anwendern eine breite Palette von Optionen zum Mustern und Erstellen hochwertiger Schichten.
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