Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS HC3 Ultra #9411352 zu verkaufen

ID: 9411352
Ion implanter YASKAWA Robot YASKAWA XU-ACL4140 Robot track Disk type: Variable Speed Drive (VSD) Wafer transfer type: In-Air Dry transformer HYT Vacuum ARM: CAM Arm (3) CTI-CRYOGENICS 250 F (On-board) Cryo pumps (2) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors Shower type: P-Shower 11020020 Cell type: V6 BROOKS AUTOMATİON Fixload load port Spare parts: Part number / Description 1187286 / Disk TC DI Cryo interlock 11053210 / Cell controller V6 11049380 / Scan controller 11054580 / Wafer transfer controller 11054560 / Load lock controller 1195730 / Rotary drive controller 11028010 / Rotary drive amplifier XU-BCD3111 / YASKAWA Robot driver box XU-CN0821 / YASKAWA Robot controller box 11050220 / Power dose controller 11017920 / Gas box controller 110000950 / Source controller 1214110 / Filament PSU 1214120 / Arc PSU 1214130 / Cathode PSU 1188151 / Terminal beam line DI 1163967 / Ground electronic DI 1163960 / Ground electronic DI 1195140 / Disk VAC DI 1188310 / Electrode manipulator DI 1214460 / Plasma filament PSU 11020020 / Plasma controller 110098500 / 100101530 / Rotary driver brake controller 2100276 / Source magnet PSU 1188375 / Terminal electronic DI 2200176 / Decal PSU 2200173 / HV PSU Extraction suppression 2200173 / HV PSU Decal suppression 11054570 / Gyro controller 11034940/ 2200175 / AMU PSU (Power ten) 2200187 / Extraction PSU 1196510 / Gyro ball screw assembly 1196610 / V43 1908930 / Air interface 1908940 / Air interface 110001490 / Wafer holder assembly 11030960 / CAM Arm assembly 110002530 / V3 Assembly 11047650 / V7 2014 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultra ist eine hochentwickelte Ionenimplantat- und Monitorausrüstung, die den Anforderungen moderner Ionenimplantationsanwendungen gerecht wird. Dieses Tool verfügt über eine Hochstrom-Ionenquelle, die Ionen bis zu 50 KeV beschleunigen kann, eine mehrstufige demountable Vakuumkammer, ein automatisiertes Mustersystem und ein robustes Steuerpaket. AXCELIS HC3 Ultra ist besonders vorteilhaft für die Bildung hochwertiger Schichten in aktiver Mikroelektronik, Dielektrik und Substraten. EATON NOVA HC3 Ultra verwendet eine elektrostatische Tauchlinseneinheit, um sicherzustellen, dass ein konsistenter Ionenstrahl auf das Zielgebiet gerichtet ist. Diese Maschine ermöglicht es dem Benutzer auch, die Form des Ionenstrahls sowie seine Größe und Ausbreitung genau einzustellen. Darüber hinaus enthält HC3 Ultra eine mehrstufige demontierbare Vakuumkammer, die hilft, eine stabile Prozessumgebung für die Ionenimplantation aufrechtzuerhalten. EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultra verfügt zudem über eine fortschrittliche benutzerfreundliche Oberfläche. Seine intuitive grafische Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, das Werkzeug vollständig zu überwachen und Parameter wie den Ionenstrom (bis zu 50 KeV) anzupassen, um den Prozess zu steuern. Die Software hilft Benutzern auch bei der Einstellung der Strahlform und der Energieausbreitung der Ionen. Darüber hinaus haben Anwender die Möglichkeit, zwischen Implantatprogrammen auszuwählen und umzuschalten sowie benutzerdefinierte Gasgemische zu speichern. AXCELIS HC3 Ultra enthält eine Reihe weiterer innovativer Funktionen. Die automatisierte Strukturierung ermöglicht es Benutzern beispielsweise, Substrate mit vorgewählten Implantationsenergien und -dosen zu mustern. Es zeigt auch ein einzigartiges Verschiebungsregister, das Benutzern erlaubt, erhöhte Schicht-für-Schicht-Implantationsprozesse zu führen. EATON NOVA HC3 Ultra ist ein idealer Ionenimplantator und Monitor für fortgeschrittene Implantationsprozesse. Die Hochstrom-Ionenquelle, die mehrstufige demontierbare Vakuumkammer, das automatisierte Mustermodell und die benutzerfreundliche Oberfläche machen es zum optimalen Werkzeug für schnelle und genaue Implantationsergebnisse. Darüber hinaus bieten das einzigartige Schieberegister und die einstellbaren Strahlform- und Spreizeigenschaften den Anwendern eine breite Palette von Optionen zum Mustern und Erstellen hochwertiger Schichten.
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